对应直径300mm晶圆的智能传送机器人，日本TAZMO株式会社

TAZMO Co., Ltd.开发，制造和销售半导体制造设备，清洁传输系统，LCD制造设备，UV激光设备电镀设备,模具树脂成型，PCB的电镀/电路形成设备

日本TAZMO高清洁传送系统 一般环境用搬运机器人，以无导轨方式对应3FOUP，通过替换装置，实现了晶圆的高速替换，可以有偿选择映射传感器。R.T与Z轴可分离的构造,让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

适用对象

φ100mm ~中300mmSEMI/JEITA规格晶片

伺服马达

Servo motor

般环境 用搬运机器人

Atmospheric Robot

本产品是对应Wafer的搬送Robot。

实现高速搬送、高洁净度的TAZMO搬送Robot中的旗舰机型。

This transfer robot handles wafer.

This high-speed, ultra clean robot are the flagship model in Tazmo line.

半导体制造相关设备

我司开发的涂布，显影设备以积累多年的专业知识以及生产技术赢得了来自世界各地客户的高度评价。

除此之外，我们还提供贴合，剥离，清洁，再生设备以及相关化学药品供应等多样的产品线。

TAZMO将竭力为客户提供各种创新型解决方案。

纳米压印技术

我们将根据我们在行业中培养的经验，丰富的专业知识和设备业务进行大规模生产。另外，我们还提供一个整套解决方案，涵盖从光学模拟到模具制造，蚀刻和检查的整套方案。我们将对应各种途径进行开发以满足不断变化的需求。

FPD制造设备

我司开发制作的各种平板制造设备被广泛用于液晶显示器制造领域。其中，用于液晶彩色滤光片的狭缝涂布装置通过对纳米级薄膜涂层的实现，在国际市场上获得了确立了TAZMO的行业地位。

高清洁传送系统

以准确，高速的设计理念为基础，我们正不断地推进对运输系统所需空间的缩减。其中，我司开发的晶圆输送机器人在实现高吞吐量和高精度运输的前提下，能够提供优秀的运行稳定性以及较长的免维护期限。

通过满足客户的多样的机能需求，亦使得TAZMO获得了业界的高度评价

TAZMO高清洁传送系统一般环境用搬运机器人MTE系列，本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人

一般环境用搬运机器人MTSR系列，本产品是对应φ300mm晶圆的智能搬运机器人

一般环境用搬运机器人PLP对应，角基盤 300 ~ 650mm

一般环境用搬运机器人TT301A系列，本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人

真空机器人MTP系列，适用高真空高真空机器人MTP-BB3-2

实现了低震动.低噪音，可以支持次世代半导体制造装置。

预对准校正机MAF-R系列，支持高速化合物，玻璃制品背面吸附方式MAF-RAPN

本制品采用非接触方式，可高速调整晶圆的定向平面及中心定位。

预对准校正机MAF-S系列，支持高速化合物，玻璃制品边缘保持式MAF-SHKZ采用不接触背面方式，将晶圆的颗粒物污染控制在最小。

款适用φ300mm晶圆的机械嵌校准器。