日本IWAKI易威奇半导体气动泵、风囊泵适用行业以及产品介绍

 一、主要适用行业
‌半导体制造‌

用于化学液体供药、单片清洗、光刻胶输送及CMP（化学机械抛光）工艺。
FS-N系列和PDS-H115系列可耐受、硫酸等强腐蚀性化学品，确保晶圆表面洁净度达ISO Class 1标准。
FLP系列低脉动设计，适用于对流量稳定性要求的单晶圆处理过程。
‌医疗与化学分析‌

气动隔膜泵用于高纯试剂输送，避免交叉污染。
KB系列风囊泵适用于自动分析仪器中的微量药液添加。
‌新能源产业‌

支持燃料电池、二次电池（如锂电池）和太阳能电池生产中的化学品循环与供给系统。
‌PCB（印刷电路板）与电镀行业‌

用于酸碱液输送、表面处理液循环，MDM系列PFA型号可将污染物析出降至。
‌食品加工与制药‌

KB/KBA/KBR系列结构紧凑、无泄漏，符合卫生标准，适用于食品机械与药品配液系统。
‌环保与水处理‌

TC-X系列气动隔膜泵用于工业污水、市政污水处理，具备耐酸碱、耐腐蚀特性。
二、核心产品系列介绍
1. ‌半导体气动风囊泵（FS系列）‌
‌代表型号‌：FS-80NT、FS-100NF
‌特点‌：
吐出量达100L/min，适用于大流量高压力场景。
过流部件全采用PTFE/PFA氟树脂材料，杜绝金属离子污染。
内置接近传感器与漏液检测功能，支持自动化控制。
工作温度范围5~60°C，气源压力0.7MPa。
2. ‌低脉动气动风囊泵（FLP系列）‌
‌代表型号‌：FLP-60W、FLP-75W
‌优势‌：
脉动范围低至0.06MPa，无需外接阻尼器，节省空间与成本。
可输送高粘度光刻胶，适用于LED、MEMS等精密工艺。
耐温达180°C，适应高温工况下的稳定运行。
3. ‌经济型风囊泵（KB系列）‌
‌代表型号‌：KB-3X、KBR-3X、KBA-3Z
‌应用场景‌：
小流量、低压力场合，如照片冲洗、自动分析仪、食品加工设备中的定量加药。
结构简单、维护方便，适合OEM设备配套使用。
4. ‌气动隔膜泵（TC-X系列）‌
‌特点‌：
流量范围广（8~950L/min），适用于低粘度至高粘度液体输送。
IP66防护等级，防爆设计，适用于易燃易爆环境。
全塑料泵体，耐酸碱腐蚀，适合工业污水处理。
5. ‌高精度半导体专用泵（PDS-H115系列）‌
‌性能参数‌：
吐出精度达12mLot，支持高粘度液体（10,000mPa·s）。
高压输出（1.0MPa），保障供药系统稳定性。
广泛用于光刻胶、显影液等高价值化学品的精准输送。
三、技术优势总结