TORAY东丽工业酸素（氧气）浓度计应用行业以及用途

半导体・电子部件

在半导体制造过程中，氧气的混入会大大影响产品和生产物的质量。因此，无论前道工艺还是后道工艺，都需要在设备内部气氛气体中监测氧气浓度
TORAY东丽的氧气浓度计，特别是能够在真空环境中测量的传感器分离型产品，具有高功能性和节省空间的特点，能够在超高速响应和多点测量中使用，并且在大型设备制造商中被广泛采用。

二次电池

二次电池材料烧结时，负极材料烧结时需要低浓度，正极材料烧结时需要高浓度，因此需要管理不同条件的氧气浓度。此外，由于烧结对象是粉末，还需要防止试样气体在入口处堵塞的机构。
TORAY东丽的氧气浓度计可以在低浓度到高浓度范围内进行测量，并且配备了防止传感器劣化的过滤器

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在液晶的制造过程中，溅射后的玻璃基板的退火处理在氮气气氛下进行，但在此过程中需要管理氧气浓度。
TORAY东丽拥有能够在低浓度下进行准确且快速测量的氧气浓度计。

烤箱

在半导体、液晶、电子元件、光学镜头的制造现场，广泛使用加热炉、流体回流炉、干燥炉等各种热处理设备。用于内部气氛管理的氧气浓度计也需要能够应对各种情况和高温。
TORAY东丽提供适用于各种装置的氧气浓度计。此外，我们还配备了用于吸收加热炉产生的粘合剂等的过滤器。

镜头

在镜头的制造过程中，我们会进行光学部件的热处理以及为了防止部件变质的退火处理。这些处理需要对装置内的气氛气体进行灵活控制。
TORAY东丽可以提供适用于广泛测量领域的氧气浓度计。

可应对产品

TORAY东丽锆英石式氧浓度计LD-450/SD传感器

TORAY东丽锆石醚式EtherCAT氧浓度计LD-600/SD传感器

TORAY东丽锆英石型多点氧浓度计MS-500/MS-510/SD传感器

TORAY东丽锆英石式氧浓度计LC-450A

TORAY东丽锆石氧浓度计LC-450D

TORAY东丽锆石氧分析仪LC-860

TORAY东丽锆石氧分析仪LC-750L系列（低浓度用）

TORAY东丽锆石氧分析仪RF-400-01