日本KOKUSAN 科库森SPD-180自转式 VS H840SA对向式远心干燥机 全解析

日本KOKUSAN 科库森SPD-180自转式 VS H840SA对向式远心干燥机 全解析

两款均为半导体晶圆专用洁净型甩干干燥机，依靠高速离心力 + ULPA 洁净风 + 离子除静电去除晶圆表面水渍水印，适配湿法清洗后制程；核心差异为旋转结构、转速、产能、干燥均匀性、适用场景。

一、核心结构 & 工作原理本质区别

1、SPD-180 自转式（单筐同轴整体旋转）

结构：单个载片筐整体同轴高速自转，整篮晶圆同步绕中心主轴旋转 

脱水逻辑：高转速产生超大离心力，水分由晶圆边缘向外径向甩出；顶部 ULPA 垂直层流风带走水汽，离子发生器消除静电吸附微尘 

旋转特性：晶圆正反面、侧边离心受力，去水、薄水膜剥离能力强 

2、H840SA 对向式（双摇篮反向对转）

结构：腔体内部两组摇篮托架反向对称旋转（对向回转抵消震动），可装 2 组载片筐 

脱水逻辑：中低转速离心脱水，配合腔体环绕气流排湿；摇篮自带自动抬升机构，停机后托架自动抬起方便取放料 

旋转特性：转速更低、整机震动极小、运行更平稳，批量处理优势明显

三、优缺点深度对比

SPD-180 自转式

优势

转速高、离心力大，超薄水膜、深沟槽、通孔晶圆无水痕干燥效果顶尖，杜绝水印良率缺陷 

单篮密闭层流风道，洁净度更易管控，适配光刻前、蚀刻后高精度严苛制程 

工艺配方可编程，加减速曲线精细化，适配不同材质晶圆（硅片、玻璃、碳化硅、陶瓷基片） 

整机占地纵深更小，适合紧凑型无尘工位布局 

劣势

单次只能处理 1 篮，批量产能低于 H840SA 

高速旋转震动偏大，需加固安装基座 

无自动抬篮，频繁上下料人工效率偏低 

H840SA 对向式

优势

双筐同步加工，产能翻倍，适合大批量连续量产线 

对向回转抵消震动，低速运行噪音、震动极低，设备寿命更长 

自动摇篮升降，上下料便捷，适配自动化产线接驳改造 

转速温和，超薄易碎晶圆、抛光片应力更小，崩边裂片风险低 

劣势

离心力偏弱，高深孔、窄间隙结构容易残留水渍，高精密制程良率上限不如 SPD-180 

腔体气流均匀性略弱，晶圆边缘干燥一致性略差 

耗气量、整机功耗略高于 SPD-180 

四、适用场景选型指南

选 SPD-180（自转式）

小批量、高精密研发 / 中试产线 

6/8 英寸硅片、碳化硅、光刻工艺前道关键干燥工序 

晶圆带深槽、盲孔、通孔、微结构，对无水痕要求

工位空间紧凑、追求干燥良率 

选 H840SA（对向式）

大批量量产流水线，追求单位小时产能 

薄型抛光晶圆、易碎光学玻璃片、陶瓷片，规避高速离心应力破损 

需要频繁上下料、对接半自动 / 全自动机械手 

车间对设备震动、噪音管控严格