HORIBA流量计光伏制造过程的过程控制与现场测量

HORIBA光伏制造过程的过程控制与现场测量

清洁、可再生能源的发展仍在继续。HORIBA的分析、测量和控制技术正在推动光伏发展向电网平价迈进。HORIBA产品用于晶体和薄膜太阳能电池的制造过程。并将我们丰富的科学分析经验应用在您的研发实验室。HORIBA的高可靠性过程监视器和流体控制器在生产过程中提供质量保障.堀场在半导体和FPD行业的悠久历史，定制检测系统，让HORIBA 帮助你们迎接提高光伏电池生产效率的挑战。

光纤制造工艺

等离子炬气体控制在光纤制造工艺中起着至关重要的作用。HORIBA 为精确和重复控制气体流量提供流量测量和控制技术。光纤制造商在生产预制棒时可使用起泡系统或热箱输送三氯氧磷（POCl3）、四氯化硅（SiCl4）和四氯化锗（GeCl4）。能否对汽化过程进行精确和可重复控制取决于起泡器/热箱的精确操作和载气的严格控制。

HORIBA 旗舰产品 SEC-Z500X 系列可以控制高达 500slm 的流量，与 SEC-8000 系列高温 MFC 结合使用，是对关键工艺气体进行精确流量控制的解决方案。

试验气体生成

HORIBA 可以为所有客户提供混合气体。混合气体用途多样，例如用于评估气体传感器或测试金属腐蚀情况。在气体传感器或金属材料的研发中，对传感器或金属进行专项质量评估至关重要。在测试工艺过程中控制气体的湿度平衡相当困难，但是可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度：气体 MFC（SEC-Z512MGX）、液体 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。