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更新时间:2026-09-30
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标准化装配,低析出特性,助力半导体、面板、新能源湿制程管路稳定运行

在半导体、平板显示、光伏新能源等产业的湿制程工艺中,高纯化学药液输送管路对连接件的耐腐蚀性、洁净度与密封可靠性有着严苛要求。管路接头一旦出现泄漏、离子析出或者微粒脱落,极易造成产品良率受损。针对超高纯流体输送场景,PILLAR 皮拉推出 SUPER300 P 系列柱型 PFA 入珠接头,为腐蚀性药液、超纯水输送提供成熟的管路连接方案。
PILLAR 皮拉 P 系列柱型 PFA 入珠接头主体采用高纯 PFA 材质,密封部件为 PTFE,配套 ETFE 刻度环,全接液区域无金属接触。产品在洁净车间完成成型、加工与清洗处理,金属离子析出水平低,微粒释放少,可降低药液污染风险,满足超高纯流体系统使用需求。该系列适配 PFA、PTFE 软管,规格覆盖 φ3~φ25(1/8"~1-1/2"),工况适用温度最高 200℃,最高使用压力 0.7MPaG。
产品核心采用柱型入珠密封结构,可形成轴向与径向双向密封力,密封效果不依赖螺母拧紧力矩,在冷热交替的工况环境下,可缓解氟材料热蠕变带来的渗漏隐患。接头附带刻度环,操作人员可通过目视与手感判断装配位置,有效控制人为安装差异,避免过度拧紧压损管材或是紧固不足引发泄漏。柱型凸起结构可稳定夹持管材,提升管路抗拔脱能力,在泵、阀周边存在振动的管路中连接更加稳固。
材质本身具备良好化学惰性,可耐受硝酸、双氧水、各类蚀刻液、显影液等强酸强碱及强氧化性介质。接头内部流道平滑,管路死角少,减少药液滞留与颗粒沉积,支持多次拆装复用,便于后期管路改造与设备维护。产品线包含直通、变径、内外螺纹、堵头等多种类型,同属 SUPER300 管路体系,配件之间可互通配套。
该款 PFA 接头应用覆盖多个行业工艺场景:半导体领域用于晶圆湿法清洗、蚀刻、CMP 研磨液供给、超纯水 UPW 输送、机台内部化学供液管路;FPD 面板行业适配 LCD/OLED 蚀刻、显影、剥离药液输送;光伏新能源用于硅片制绒、酸洗腐蚀管路;同时也可用于精细化工高纯试剂输送、生物医药纯化水与缓冲液配管等场景。
随着高纯流体工艺不断发展,管路配件的稳定性与洁净控制愈发受到行业重视。PILLAR 皮拉 SUPER300 P 系列柱型 PFA 入珠接头依托稳定的密封结构与氟树脂材料优势,为超高纯腐蚀性流体管路提供可靠的连接选择。
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