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产品型号:F003-X-03-VP
更新时间:2026-03-17
厂商性质:代理商
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FLUORO/日本福乐6寸真空吸笔晶圆吸取工具
日本FLUORO福乐真空吸笔是专为精密元器件搬运设计的工具,广泛应用于半导体、电子装配、生物医疗等领域。日本FLUORO福乐是一家专注于半导体行业晶圆处理工具制造的公司,其产品广泛应用于电子制造、光学装配和生物医学等领域。该品牌以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称,核心产品包括真空吸笔(真空镊子)、真空泵、吸嘴及管道等。
日本FLUORO福乐是一家专注于半导体行业晶圆处理工具制造的公司,其产品广泛应用于电子制造、光学装配和生物医学等领域。该品牌以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称,核心产品包括真空吸笔(真空镊子)、真空泵、吸嘴及管道等,适用于5、6、8和12英寸晶圆的搬运与精密操作。
主要产品系列
真空吸笔(Vacuum Pen)
型号涵盖C001、C002、C003、C007、F001、F002等系列,分为防静电型(黑色)和耐化学品型(白色)。
采用导电PEEK(聚醚醚酮)材料制成吸附头,具备优异的耐热性、耐化学性和抗静电能力,电阻值在10⁶至10⁸欧姆之间,有效防止晶圆损伤。
阀门结构精密,支持长期稳定操作,部分型号配备吹气功能,便于释放微小芯片,避免因静电或湿度导致的粘连问题。
可更换吸附头(如晶圆吸附头、喷嘴、垫片),适配不同尺寸和材质的搬运对象。
真空泵
提供小型高真空泵如FV-XP(大流量型),采用电磁驱动多级减压结构,体积小、维护少、寿命长,适合集成到自动化设备中。
FLUORO福乐还提供FV-60-240等精密真空泵,用于配合真空吸笔完成稳定负压供给。
吸嘴与吸盘
采用导电PEEK、硅橡胶或氟橡胶材料,接触面更小,适合裸芯片、微型元件的无损转移。
具备防颗粒产生设计,满足洁净室环境要求。
应用领域
半导体制造:晶圆搬运、Die贴装、SMT贴片、BGA维修。
光学与医疗:镜头、滤光片、生物芯片的精密操作。
洁净室生产:符合无尘标准,适用于高精度电子组装环境。
FLUORO/日本福乐6寸真空吸笔晶圆吸取工具




