半导体制造中的蚀刻液精确投加定量泵高精度计量泵

日本IWAKI 易威奇高精度计量泵/ 定量泵系列，是工业领域广泛使用的高精度计量设备，具备耐腐蚀、运行平稳、控制精准等特点，适用于化工、环保、水处理、半导体等多个行业。

主要系列及特点

1. ‌ES系列电磁隔膜计量泵‌

• 属于经济型电磁驱动泵，结构紧凑、重量轻，适合OEM设备配套使用。

• 流量可达400 mL/min，出口压力1.0 MPa，适用于低流量、高精度加药场景。

• 泵头材质为PVC，接液部件具有优良的耐腐蚀性，适合输送多种化学药液。

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2. ‌EHN系列电磁隔膜计量泵‌

• 采用脉冲控制技术，调节精度高，支持宽电压输入（AC100–240V），适应电源标准。

• 具备良好的耐酸碱性能，常用于PCB、电镀、水处理等行业的化学药液添加。

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3. ‌IX-C系列直动式隔膜计量泵‌

• 实现0.08–150 L/h的宽流量范围，定量精度达±1%，适合对精度要求的工艺流程。

• 节能设计，功耗比传统电机泵降低约70%，并具备IP65防护等级，防尘防水。

• 支持模拟信号、脉冲信号自动控制，可集成于自动化系统中。

4. ‌LK系列机械隔膜计量泵‌

• 采用双偏心凸轮机构，运行稳定，出口压力可达1.5 MPa，适用于高压加药场合。

• 材质可选SUS316、PVC、PVDF，适应不同介质和温度条件（液温范围0–80℃）。

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5. ‌AX系列柱塞计量泵‌

• 高压型设计，适用于显微注射、高扬程输送等特殊工况，具备高耐用性和长期稳定性。

• 可承受更高粘度液体（达500 mPa·s），适合高浓度或高粘性化学品输送。

应用行业

• 化工生产中的酸碱添加

• 半导体制造中的蚀刻液精确投加

• 污水处理中的絮凝剂、消毒剂投加

• 食品饮料行业的添加剂定量注入

 通用优势与选型要点

材质多样性：PVDF、PTFE、陶瓷、SUS316，耐强酸强碱与有机溶剂

控制接口：从手动、4–20 mA、脉冲、Modbus 到 PROFIBUS，适配 DCS/PLC

选型顺序：确定流量 - 压力 - 介质腐蚀性 / 粘度 / 含固量 → 选驱动类型（电磁 / 机械 / 直驱 / 柱塞） → 确认控制与防爆需求

日本IWAKI易威奇IX系列，新世代计量泵技术

满足当今行业自动化学品输送的需求，高精度定量泵IX-B007、IX-B015、 IX-B-030、IX-B045、 IX-C060、 IX-C150 、IX-D150 、IX-D300

日本IWAKI易威奇EHN系列

宽电压、配置型数字控制器的电磁定量泵

日本IWAKI易威奇电磁定量泵EHN-BN11、 EHN-BN16 、EHN-BN21 、EHN-BN31 、EHN-CN16 、EHN-CN21、 EHN-CN31 、EHN-CN36

日本IWAKI易威奇电磁定量泵自动排气型EHN-NAE、日本IWAKI易威奇电磁定量泵高压缩比型EHN-55、日本IWAKI易威奇电磁定量泵高压型EHN-H

日本IWAKI易威奇EWN-W系列宽电压、水质控制适用的电磁定量泵

EWN-Y系列日本IWAKI易威奇电磁定量泵配备革命性EFS流量传感器，提供精确的流量监测、反馈和控制

日本IWAKI易威奇大流量电磁定量泵EH-E系列

AX系列流程用定量泵日本IWAKI易威奇，

高精度和可靠性AX系列是高精度和高可靠性的定量泵，精度≦±1%，直线性≦±2%，再现性≦±2%。其驱动单元经特殊设计，可满足长期连续运行的要求。

IWAKI METERING PUMP直驱隔膜式定量泵LK/LK-F系列应对化学品投药工艺的多样化需求，多种泵型及材质可供选择

易威奇IWAKI直驱隔膜式定量泵LK-F57VC法兰连接型、LK-F57S6不锈钢泵头型、LK-32VCH软管连接型、LK-32VC法兰连接型、LK-32VCU联管节连接型、LK-21S6不锈钢泵头型、LK-C86VC1.5kW PVC泵头型、LK-B65VC0.75kW PVC泵头型、LK-B75S40.75kW 不锈钢泵头型

IWAKI易威奇HRP系列高精度、超小型定量泵，直流、水平/垂直泵头HRP系列采用12V或24V直流供电，适于内置，是理想的整合入设备器件。可灵活选取水平/垂直泵头，化配合主机的安装。