KOKUSAN 科库森（国産遠心機）产品核心优势解析

自创立以来，KOKUSAN科库森始终以 “离心分离精度、适配精密制造需求"为研发内核，依托百年技术迭代，持续优化洁净离心、高速分离、精密干燥解决方案，兼顾实验室微量分析需求与半导体、工业大批量量产制程，成为全球精密离心设备领域兼具历史底蕴与技术壁垒的日系品牌。

KOKUSAN科库森在半导体晶圆离心干燥、晶圆甩干中的优势

KOKUSAN科库森 SPD-180 自转式、H840SA 对向式晶圆离心干燥机，是日系半导体湿法制程主流标配设备，相比普通烘干、常规离心设备具备不可替代的超净工艺优势：

1、超高洁净等级，严控微粒与静电污染

整机适配 Class100 百级无尘车间使用，风路内置 ULPA 超高效过滤器，进入腔体的吹扫空气净化，避免粉尘附着晶圆表面；标配除静电装置，消除高速旋转产生静电，防止静电吸附颗粒、击穿精密芯片线路。

设备主轴、轴承采用隔离式密封结构，润滑油脂、机械磨损碎屑无法进入干燥腔，从根源杜绝二次污染，满足半导体芯片、硅片、光学玻璃高精度制程洁净管控要求。

2、低温离心风干，杜绝工件损伤、无水痕瑕疵

采用离心甩脱 + 洁净风吹扫脱水原理，无需高温烘烤，规避高温导致晶圆翘曲变形、光刻胶变质、精密镀层损坏问题；高速离心快速剥离表面水分，搭配均匀层流风风干，晶圆表面不留水印、水斑、水渍印记，适配光刻、蚀刻、研磨、清洗后关键工序。

对向式机型双工位交替作业，自带花篮自动升降机构，可轻松对接前后自动化清洗产线，实现连续批量生产，产能效率优势突出。

3、运行稳定性适配长时间量产，良率可控

依托品牌百年离心动平衡技术，高速旋转震动极小，高速甩干过程不会造成晶圆磕碰、崩边、裂片；自带失衡检测、超速、门盖联锁多重安全保护，批量生产运行一致性强，产品良率稳定。

整机耐腐蚀不锈钢腔体，耐清洗药液残留腐蚀，适配酸碱清洗后脱水工况，长期连续量产故障率低，运维省心。

4、细分场景适配性强

除 8/12 寸硅片之外，也可适配碳化硅、光学镜片、精密陶瓷、微电子小型元器件、载具治具等精密小件脱水，在半导体、光电、精密电子清洗干燥细分赛道形成技术壁垒，是精密脱水工序优选机型。

多重安全防护，合规性强

机械门盖互锁、失衡极速停机、过载 / 过热 / 超速多重硬件保护，样品偏心、腔体异常即刻停机，规避爆管、腔体破损事故。 

医用机型符合临床检验规范，血细胞离心机（HS-12、H-1200F）双速程序匹配输血配血、红细胞洗涤标准流程；冷冻机型环保冷媒选型，适配生物医药实验室合规要求。 

防腐腔体选型丰富：304/316L 不锈钢内腔，耐酸碱腐蚀，适配化工废液、高盐、腐蚀性样品长期分离作业。

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