自转VS对向怎么选？ SPD-180&H840SA晶圆远心干燥机全维度技术选型

作为日本老牌离心设备品牌，KOKUSAN科库森旗下SPD-180自转式、H840SA对向式是目前半导体行业应用的两款原装远心干燥机。本文从工作原理、核心性能、适用产线、现场工况拆解，帮助产线快速精准选型，避免设备错配、良率下降、产能不足等问题。

名词科普：远心干燥机=离心干燥机

日系图纸、设备铭牌标注的遠心乾燥機，中文统一为离心干燥机，俗称晶圆甩干机。

区别于加热型螺旋干燥机，两款设备均采用纯物理离心脱水，无高温烘烤、无热风二次污染，不损伤晶圆光刻胶、外延镀膜与精密基板，适配半导体无尘车间Class100洁净标准。

核心工作原理差异（本质区别）

SPD-180 自转式离心干燥机，这是一款作为半导体产业用晶圆干燥装置拥有许多实绩的设备。
通过离心力和ULPA过滤器的气流，将工作部件保持在清洁的水切割干燥状态。

采用单花篮一体式同向自转结构，整个料架跟随主轴高速同向旋转，离心力高度集中，剥离能力更强。搭配触控可编程系统，可自定义加减速、运行时长，柔性适配不同材质晶片脱水需求，适合精细化干燥场景。

H840SA 对向式离心干燥机，

这是一款作为半导体产业用晶圆干燥装置拥有许多实绩的设备。

通过离心力和气流将工件清洁并进行水切干燥。通过提升机构，自动提升提升架。

采用双花篮左右反向对转结构，两侧转子产生的离心力相互抵消，从源头抑制设备震动。设备运行平稳、无需加固地脚，搭配自动升降摇篮，适配产线自动化对接，主打7×24小时不间断稳定量产。