日本KOKUSAN远心干燥机 SPD-180产品原理及工况选型指南

日本KOKUSAN远心干燥机 SPD-180产品原理及工况选型指南

品牌概述

日本KOKUSAN（国産遠心機，中文：科库森）是深耕离心设备领域数十年的专业制造商，专注研发生产半导体行业专用远心干燥机（离心干燥机），设备凭借日系精密动平衡工艺、高洁净腔体设计、稳定变频控制系统，广泛应用于半导体晶圆、第三代半导体基板、光学精密玻璃等湿法清洗后脱水工序。

本次指南主推旗下SPD-180自转式远心干燥机，该机型主打高转速强效脱水、大尺寸晶圆适配、可编程工艺运行，适配研发试样、精密制程小批量生产场景；文末搭配同厂量产款H840SA对向式机型简易对标，方便用户根据产线工况精准选型。

行业名词说明：日系设备图纸、铭牌标注的「遠心乾燥機」，中文标准名称为离心干燥机，俗称晶圆甩干机；设备采用纯物理离心脱水，无加热烘干工序，区别于螺旋干燥机，无热损伤、无二次污染，匹配半导体无尘车间生产规范。

自转式离心干燥机SPD-180设备工作原理

2.1 整体运行原理

这是一款作为半导体产业用晶圆干燥装置拥有许多实绩的设备。

通过离心力和ULPA过滤器的气流，将工作部件保持在清洁的水切割干燥状态。

SPD-180为单花篮一体式自转结构，整机搭载一体式晶圆载具转子，工作时主轴带动料架整体同向高速旋转，依靠离心力，快速剥离晶圆表面附着的纯水、IPA清洗液及细微缝隙残留药液。

设备顶部搭载全域送风ULPA超洁净过滤器，持续向腔体内部输送无尘洁净风，配合内置离子除静电发生器，中和工件表面静电，杜绝静电吸附微尘；密闭负压腔体快速排出腔内水汽，从根源消除晶圆水印、水斑、粉尘不良，实现无水痕精密干燥。

2.2 分段工艺运行逻辑

柔性加速阶段：平缓升速，避免瞬间转速冲击导致晶圆偏移、碎片；

恒速脱水阶段：稳定高转速运行，剥离表面残留液体；

缓慢减速阶段：匀速降速，保护晶圆不受惯性冲击力影响；

排风除湿阶段：停机后持续洁净风换气，清空腔内残留湿气。

设备核心结构与产品优势

3.1 核心结构配置

触控PLC智能控制系统：高清触摸屏操作，可储存5组自定义工艺配方，转速、运行时长、加减速参数均可独立调节，一键切换不同工件干燥程序；

高精密变频驱动主轴：原装变频电机，转速误差极小，高速运行无抖动，出厂完成高精度动平衡校准；

SUS304无缝不锈钢腔体：耐腐蚀、耐酸碱清洗药液，腔体，不易积液积尘；

转子快拆结构：无需工具即可快速拆装花篮转子，日常腔体清洁、维护保养更便捷；

多重安全防护系统：开盖立即停机、转子失衡报警、过载过压保护、防震底座，保障车间操作安全。

3.2 产品核心亮点

超高脱水能力：最高转速可达3500rpm，离心力更强，可清除晶片边缘、微孔内微量残留水分，满足高阶制程零水痕要求；

大尺寸晶圆兼容：业内适配性更强，可支持4/5/6/8英寸全规格晶圆干燥，覆盖常规硅片及第三代半导体碳化硅、氮化镓基板；

Class100高洁净等级：标配ULPA超高效过滤器+离子除静电装置，腔内粉尘含量达标无尘车间标准，避免静电吸尘造成工件不良；

工况适配灵活：可编程工艺适配多种材质工件，可满足研发调试、小批量试样、精密光学件干燥多元需求。