KOKUSAN远心干燥机 科库森SPD-180设备安装及操作维保注意事项

日本KOKUSAN远心干燥机 科库森SPD-180设备安装及操作维保注意事项

一、搬运与安装注意事项

1.1 搬运就位要求

搬运设备仅可托举机身底部基座，禁止提拉机盖、触控显示屏、排气管道及电气接线部位，防止内部精密传动结构移位、机身钣金变形。

整机搬运倾斜角度不得超过5°，严禁倾倒、猛烈磕碰，避免主轴轴承受力形变，破坏原厂出厂动平衡精度。

设备搬运至指定工位后，需静置2小时以上，等待主轴轴承润滑油回流，方可开展接线、通气及整机调试工作。

设备顶面禁止堆放任何杂物，避免外力挤压机盖开合结构，保障开盖机构正常运转。

1.2 安装环境要求

设备适配Class100/Class1000无尘车间，作业环境温度维持18℃~28℃，相对湿度40%~60%；禁止在高湿、多粉尘、含有酸碱腐蚀性气体的环境中安装与使用。

安装地面需为防静电硬质环氧地坪，地面平整度误差≤2mm，设备无需地脚螺栓加固，但必须保证整机水平，避免运行过程产生偏心震动。

机身四周预留不小于40cm的散热及检修空间，机盖上方无遮挡物，保证开盖操作、排风散热、后期检修不受阻碍。

1.3 电气安装规范

设备额定供电规格为AC200V三相三线，需配备独立稳压电源与独立空气开关，严禁与空压机、清洗机、变频器等大功率干扰设备共用供电回路。

设备必须可靠接地，接地电阻≤4Ω，及时释放整机静电，防止静电损伤晶圆工件与设备控制主板。

线路接线完成后全面检查接线紧固度，杜绝线路挤压、绝缘层破损、相序错误等问题，通电前复核电压参数，防止电气元器件烧毁。

1.4 气路与管路安装规范

设备标准工作气源压力为0.3MPa，接入压缩空气必须经过三级干燥过滤处理，保证气源无水无油，防止水汽、油污损坏气动升降组件。

机身VP75标准排气口对接车间负压排风系统，及时排出腔体内部湿气，避免水汽回流导致晶圆表面产生水印残留。

废液排水管保持向下倾斜铺设，管路无弯折、无积水死角，保证废液顺畅排出，防止废液倒流腐蚀腔体内部构件。

1.5 安装后空载调试要求

开机前调节机身水平脚杯，配合水平仪校准整机水平，确认水平达标后方可启动设备。

空载状态下依次测试低、中、高三档运行转速，全程设备运行异响、观察机身震动情况，出现异常立即停机排查。

逐项检测机盖安全联锁、转子失衡报警、紧急停机功能，确认全部安全防护装置运行正常后，设备方可投入量产使用。

二、日常操作注意事项

2.1 开机前点检（每日必做）

清理腔体内部残留废液、碎片及异物，保持腔体内部洁净无尘。

检查花篮转子安装状态，确认卡扣锁紧牢固，转子无裂纹、无松动偏移。

检查气源压力、排风及排水管路，确认管路通畅、无漏气堵塞问题。

核对触控面板工艺参数，调用匹配当前工件的固化程序，禁止私自修改出厂工艺参数。

2.2 工件上料装载规范

晶圆需规范放置于专用石英花篮内，禁止单片散装、叠片堆放，防止高速运转过程中工件飞出、碎裂。

花篮内部工件均匀排布，严禁单侧偏重、半篮空载运行，载荷失衡会触发转子失衡报警，同时损伤主轴精密轴承。

严格遵照设备额定装载容量作业，禁止超载运行，不得放置超出腔体规格的非标工件。

2.3 设备运行安全禁令

设备高速运转期间，机盖安全联锁自动锁死，严禁暴力撬动、敲击机盖，规避安全风险与设备结构损伤。

设备运行中若出现异响、异常震动、系统报警提示，需立即按下急停按钮并断电检修，严禁设备带故障运行。

设备运行过程中，禁止触碰机身外壳与排气风口，避免高速气流造成人身伤害。

设备运行中途不得更改转速、运行时长等工艺参数，转速突变易引发晶圆碎片、转子偏心故障。

2.4 下料与关机规范

必须等待转子静止、机盖联锁解锁完成后，方可开盖取料，转子未静止严禁提前开盖。

单批次生产结束后，遵循先关闭气源、后切断电源的顺序关机，禁止直接断电强制停机。

每日生产结束后，清空腔体残留积水，闭合机盖保持腔体内部干燥密闭。

严禁操作事项

禁止私自拆解主轴及转子总成：设备出厂动平衡参数不可复原，私自拆解会破坏设备运行精度，无法维修补救。

禁止长时间空载高速运行：无工件空载高速运转，会加速主轴轴承磨损，大幅缩短设备使用寿命。

禁止断电后立即重启设备：两次开机间隔需大于3分钟，避免电压冲击击穿变频驱动主板。

禁止使用非原厂配件：非标转子、耗材存在重量与尺寸偏差，极易引发失衡报警及安全事故。

禁止依赖安全联锁违规操作：安全联锁为应急防护装置，不得依托防护装置在设备运行时强行开盖。

SPD-180远心干燥机属于半导体行业高精度高速离心设备，相较于普通工业离心机，对安装工况、操作流程、维保周期有着更为严苛的要求。现场人员严格遵照本规范执行作业，既能有效降低晶圆碎片、水印等不良率，保障产品生产质量，也能完好保护主轴核心精度，减少非计划停机故障，保障设备长期稳定运行，匹配无尘车间连续化生产需求。