HORIBA流体控制

什么是质量流量控制器？

HORIBA质量流量控制器根据发送的电信号自动控制气体的流量，不受使用条件或气体压力变化的影响。流量大致可分为两种类型：体积流量和质量流量。体积流量测量会受到环境温度和压力的影响。为了获得真实的流量，需要满足压力条件，因此能提供更准确、更稳定的流量测量和控制。我们的质量流量控制器被广泛应用于各种工业领域，作为需要精确控制流量或建立自动化生产线时的设备。

结构与工作原理

这些质量流量控制器具有一个流量测量部分，其中包括一个传感器、旁通阀、流量控制阀和专用电路。
气体从进气接头输入，并被分流，使其同时流经流量传感器和旁通阀。传感器测量气体的质量流量，流量控制阀调节流量，使得测量流量与从外部流量设定信号接收的流量之间的差值为0（零）。
该装置采用闭环电路，因此即使存在可能影响输入气体供应压力的二次压力变化或环境温度变化，流量也会被即时校正，从而确保流量控制的稳定。

工作原理

1. 气体从进气口进入后，首先分流，一部分流经传感器，另一部分流经旁路。

2. 在传感器处，质量流量被检测为温度的比例变化，并通过桥式电路转换为电信号。

3. 该信号经过放大和校正电路，并输出为0至5V之间的线性电压。同时，它也被发送至比较控制电路。

4. 比较控制电路比较流量设定信号与传感器测得的实际流量设定信号，并将差信号发送至阀门驱动电路。

5. 流量控制阀的驱动器会根据需要调整，使所需流量设定值与流量输出信号之间的差值趋近于零。换言之，该装置控制流量，使其始终保持在设定的流量值。

数字质量流量控制器产品特性

数字质量流量控制器如图所示。
这些质量流量控制器具有一个包含传感器、旁通阀、流量控制阀和专用电路的流量测量部分。CPU是电路的一部分，使其既多功能又高效。
该装置采用闭环电路，因此即使存在可能影响引入气体供应压力的二次压力变化或环境温度变化，流量也会立即进行校正，从而确保流量控制的稳定。

液体质量流量控制 - 测量原理

冷却测量方法

液态微量流量控制器LF-F/LV-F系列中的流量传感器由一个与毛细管管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，该传感器检测与流量对应的温度升高（⊗T），并将其显示为流量。与添加热量的方法不同，这种冷却方法能够对低沸点液体进行流量测量。它还避免了二次排放（汽化）影响造成的干扰问题，从而实现了准确的流量测量。

结构/工作原理

LV-F系列质量流量控制器与LF-F系列质量流量计类似，但还配备了压电执行器阀门和内部比较控制电路。它们比较流量设定信号与流量输出信号，并自动控制阀门开度，使两个信号相匹配。由于采用了反馈控制系统，因此不会因外部因素导致流量波动，从而能够实现稳定、精确的控制。使用稳定且不发热的压电执行器阀门作为控制阀，使得这些设备成为控制低沸点液体流量的理想选择。

液体源汽化控制系统 - 汽化原理

注射方法

以下列表涵盖了将液体源气化并将其输送到工艺腔室所涉及的主要步骤。

1. 测量液体源的流量，并通过阀门对液体量进行反馈控制。

2. 液体瞬间汽化。

3. 气体被释放，而没有被允许重新凝结成液态。

采用喷射方法的汽化系统依次执行上述步骤1、2和3。VC系列设备使用质量流量计测量液体源的液体流量，且不使用载气。MI/MV系列设备使用质量流量计进行测量，并配备质量流量控制器，将载气引入设备中以汽化液体源。

气液混合法

这是MI/MV系列所采用的汽化方法。由于喷射器内部喷嘴前端的载气压力较高，因此可以实现高效加热。液体源和加热后的载气在喷嘴前端的气液混合区中混合在一起，随着它们穿过喷嘴，压力降低，从而使混合物汽化。与传统汽化方法相比，汽化效率更高。采用这种方法时，可以产生更大的流量，并且可以降低生成温度。

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