HORIBA D700 系列（CRITERION™）质量流量模块详细介绍

一、系列定位

D700 系列是 HORIBA STEC 推出的新一代压差式（CRITERION™）质量流量模块，是 D500 系列的上位兼容升级型号，专为先进半导体制造工艺中的气体控制需求而设计。

该系列采用 HORIBA 基于压力计算的 CRITERION™流量测量与控制技术，核心优势是入口 / 出口双向压力不敏感—— 即使上下游压力发生波动，也能保持稳定的流量控制，从根本上解决了传统热式 MFC 在压力扰动下流量漂移的痛点。

全系列统一采用EtherCAT® 通信、压电陶瓷执行阀（常闭型）、SUS316L/Ni-alloy/PFA 接液材质，模块化设计覆盖从微流量到大流量、从实验室研发到量产线的全场景。

D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

关键的半导体制造过程不断要求精确的气体流量控制设备，HORIBA公司提出了新的基于压力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型号，以支持客户的挑战。

1. D700T —— 旗舰级高性能压力不敏感质量流量模块

定位：D700 系列的性能天花板，专为关键半导体制造工艺（如 ALD、高深宽比刻蚀、先进沉积）设计。

核心技术亮点：

• 双阀结构：采用具有双阀结构 + 高级流量控制算法，是 D700T 区别于其他型号的核心特征，可同时抑制入口和出口压力波动

• 全范围≤100ms 快速稳定：设定到设定（Set to Set）、上升、下降全模式均≤100ms

• 行业重复性：≤0.15% S.P.（10-100% F.S. 区间）

• 最高精度：最佳规格≤0.45% S.P.（标准为 0.8% S.P.），单气体配置

• 先进故障检测：可诊断压力传感器漂移、阀座泄漏、流量精度变化

• 宽工作温度：15~60℃（全系列最宽）

• 典型应用：ALD 原子层沉积、高深宽比刻蚀、3D NAND 堆叠工艺、先进逻辑器件制造、任何对压力扰动零容忍的关键工艺。
  

2. D700MG —— 高响应压力非敏感质量流量器

定位：D700 系列的主力通用型号，兼顾高性能与灵活性，是 D500MG 的直接升级替代，适合从实验室到量产线的广泛半导体工艺。

核心技术亮点：

• ≤100ms 高速响应：阶跃上升建立时间≤100ms，MFC 到 MFC 的响应偏差受控

• 工具上气体 / 量程变更（仅 EtherCAT）：可在设备上直接更改气体类型和满量程，为工艺优化提供灵活性，减少备件库存

• 小流量 MRMG 功能（Bin101-Bin105）：为需要小流量的工艺提供灵活性

• PFA 喷嘴：阀门关闭性能更好，耐腐蚀性更强，颗粒风险更低，减少停机时间

• 状态监控功能：输出丰富的内部数据，支持智能故障预测

典型应用：CVD/PVD 沉积、刻蚀、离子注入、扩散、薄膜工艺、一般半导体量产线、需要快速换线 / 多气体的灵活工艺。

3. D700uF —— 微流量压力不敏感质量流量模块

定位：专为≤5 SCCM 极小流量应用设计，面向高深宽比（High Aspect Ratio）工艺中的微量气体控制。

核心技术亮点：

• ≤5 SCCM 微流量控制：在高深宽比工艺中，≤5SCCM 的流量控制至关重要

• 专用组件 + 自研低流量基准：采用专门设计的元器件和 HORIBA 内部新开发的低流量标准，使流量控制精度可达到0.025 SCCM

• 继承 CRITERION™压差式技术的压力不敏感优势

典型应用：高深宽比刻蚀（如 3D NAND 通道孔刻蚀）、ALD 原子层沉积的微量前驱体气体、先进逻辑器件的极精细工艺、任何需要 SCCM 级以下精确控制的场景。

4. D700WR —— 宽范围压敏质量流量计

定位：专为超宽范围流量控制设计，通过新型节流器实现 0.1%~100% F.S. 的控制比，帮助用户减少气路中 MFC 的数量。

核心技术亮点：

• 0.1%~100% F.S. 超宽控制范围：可将流量控制在全量程的 0.1%，高精度低流量控制

• 新型节流器：专为大范围控制应用设计，基于 CRITERION™技术保持高精度

• ≤500ms 递增响应

• 稳健的 CIP 压力传感器：减少大批量生产的停机时间和人工成本

• PFA 喷嘴：10 倍更好的阀门关闭和耐腐蚀性，鲁棒性强，颗粒风险小

核心价值：如果原系统需要安装多个 MFC 分别用于高流量和低流量控制，D700WR 可以用一台替代多台，优化气体输送系统的灵活性，降低成本和复杂度。

典型应用：需要宽流量调节比的工艺（如从清洗大流量到沉积小流量共用一气路）、希望简化气路设计减少 MFC 数量的场景、研发阶段需要覆盖宽流量范围的实验平台。

HORIBA堀场D700MG高响应压力非敏感质量流量器

HORIBA堀场D700T高性能压力不敏感质量流量模块

HORIBA堀场D700uF微流量压强不敏感质量流量模块

HORIBA堀场D700WR宽范围压敏质量流量计

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