HORIBA（堀场）流量计整体介绍

一、公司背景

HORIBA（株式会社堀场制作所）创立于 1945 年，总部位于日本京都，测量与分析仪器制造商。流量计业务主要由两大事业部承载：

HORIBA STEC（半导体流体控制事业部）：总部位于日本静冈，专注半导体制造工艺中的气体 / 液体质量流量控制，是全球 MFC（质量流量控制器）领域的头部厂商之一。

HORIBA Automotive（汽车测试事业部）：专注发动机 / 车辆研发测试中的燃油、排气流量测量。

HHORIBA 流量计产品线较广，不同应用场景的型号差异较大，以下是主流系列的参数参考：

‌半导体/工业用气体质量流量控制器（MFC）‌‌SEC-Z 系列（如 Z512, Z522）‌：高精度气体控制，精度可达±1.0% S.P.（流量>25% 满量程时），响应时间<1 秒，支持多种气体现场设定 。

‌S48 系列（如 S48-28, S48-32）‌：国内组装或进口，量程可选 0-100SLPM 等，精度 1%，支持任意角度安装，响应快 。

‌S600 系列（如 S600-BR212）‌：数字式气体质量流量计，精度可达 0.3% FS（低于 30% 量程时），核心部件进口，国内组装以降低成本 。

‌半导体/工业用液体质量流量计‌‌LF-F 系列（如 LF-F20M-A）‌：不带控制功能，仅测量，量程 0.02-100 g/min，精度±1% F.S.，适用于低沸点、高粘度液体 。

‌LV-F 系列‌：带控制功能的液体质量流量控制器，采用冷却法防止液体沸腾 。

‌汽车/发动机测试用燃油流量计‌‌FQ 系列 & HyFQ-2000‌：用于发动机开发，支持常规燃料及氢气流量测量，高精度稳定 。

‌RealFlow‌：车载超声波燃油流量计，体积小巧，精度±0.5%，可直接安装在发动机舱，符合 RDE/WLTP 排放标准 。