PILLAR PW系列药液补充用定量泵产品介绍

更新时间：2026-09-18

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PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。

一、核心产品特点

超高耐蚀洁净材质：所有接液部件均采用PFA、PTFE含氟聚合物材质，无金属接触药液，可耐受各类酸碱、有机溶剂、蚀刻液、清洗液等特殊化工药液，同时材质本身不析出、不污染药液，满足高洁净制程要求。
高精度定量输出：设备重复计量精度可达1%，单次吐液量稳定可控，冲程运行均匀，杜绝药液补给过量、不足问题，适配精密制程的定量补液需求。
宽温稳定运行：支持10℃~100℃药液温度工况，适配冷热药液补给场景，高温环境下材质不变形、性能不衰减，运行稳定性。
气动安全驱动：采用气压驱动方式，无电机运转、无电火花，适配易燃易爆化工药液场景，作业安全性高，同时结构简洁、故障率低。
适配性强易调试：冲程速度、供气压力可精准调节，可根据不同药液粘度、补液量需求灵活调整参数，适配多场景定量补液作业。

二：型号及核心参数

PW系列主流应用型号为PW-5MA、PW-10MA（含升级款PW-5MA-P、PW-10MA-P），核心参数统一标准化，具体规格如下：

三：PILLAR PW 系列药液补充用定量泵的材质是什么？

PILLAR PW 系列定量泵材质

所有接液部件均采用PFA、PTFE 氟树脂材质，无任何金属接触药液：

PTFE：具备优异耐腐蚀性、抗老化性，可耐受强腐蚀药液冲刷；
PFA：高洁净、耐高温、抗渗透，无物料析出、无药液残留，适配半导体等高洁净制程。

设备核心接液组件全部采用氟树脂材料，PTFE材质具备耐腐蚀性、抗老化性，可长期耐受强腐蚀药液冲刷；PFA材质兼具高洁净度与优异的耐高温、抗渗透性能，无药液残留、无杂质析出，符合半导体、精密电子等高洁净生产标准，有效避免药液污染、设备腐蚀老化等问题，大幅延长设备使用寿命。

四、适用应用场景

PW系列定量泵主打精密药液定量补充场景，核心应用领域如下：

半导体行业：晶圆清洗设备、蚀刻设备、镀膜设备的药液自动补给；
精密化工：高纯试剂、酸碱药液、有机溶剂的定量加注与补液；
光电行业：面板清洗、光刻辅助药液精准补给；
实验室精密制程：各类化学试剂、实验药液的定量配比与补充。

五、产品整体优势总结

PILLAR PW系列药液补充定量泵兼顾高精度、高洁净、高耐腐、高安全四大核心优势，标准化参数适配绝大多数精密药液补液场景，气动无电结构适配高危化工环境，全氟接液结构杜绝药液污染与设备腐蚀，稳定的重复计量精度保障制程一致性，是精密制造领域药液定量补给的优选设备。设备结构简约，维护便捷，无需复杂保养，可长期稳定连续运行，有效降低生产线运维成本。