半导体药液供给装置核心部件：PILLAR PD-1000R 光刻胶专用定量泵

近日，株式会社 PILLAR（皮拉）PD-1000R 气动波纹管定量泵在半导体光刻供液领域获得广泛应用，该款泵作为药液供应装置核心计量单元，专为光刻胶等高粘度光敏药液的精密吐出开发，为半导体、FPD 面板行业高纯化学品供给提供稳定可靠的流体控制方案。

随着半导体制造工艺持续升级，光刻涂布工序对药液吐出一致性、洁净度、颗粒控制提出严苛要求。光刻胶属于高粘度光敏介质，微小吐液偏差、杂质析出、气泡冲击都会直接影响涂布膜厚，造成晶圆良率损失。PILLAR PD-1000R 正是针对该行业痛点开发的容积式定量泵产品。

PD-1000R 采用气动波纹管驱动结构，接液部件全部采用 PFA/PTFE 全氟树脂材质，无金属接触，耐强腐蚀，无尘车间组装，可有效降低颗粒析出与金属离子溶出，满足半导体超净流体工艺标准。泵体单次最大吐出量 10mL，吐出重复精度可达 ±0.005mL，计量稳定性优异；可适配最高 1000cP 中高粘度药液，匹配各类光刻胶输送工况。

设备内置压力传感器，能够实时监测泵腔内部压力，可对接产线 PLC 系统，实现异常压力报警，及时识别断液、气泡、压力冲击等问题，保护光刻胶管路，降低工艺报废风险。药液适用温度区间 20～40℃，专为光刻胶温控使用场景设计，最大吐出压力 0.50MPaG。配合 PILLAR 配套泵控制器，可设定冲程频次，灵活调节单位时间吐出总量，轻松集成至 CDS 药液供给柜、光刻涂布设备内部。

同品牌 PW 系列定量泵多用于酸碱清洗液、普通化学品补给，而 PD-1000R 定位更高精度场景，二者形成产品梯队。PW 系列侧重通用化学品补给，PD 系列主打光刻胶精密涂布，覆盖半导体湿法工艺不同层级计量需求。

在实际应用中，该泵广泛用于半导体晶圆光刻涂布、FPD 面板精密涂胶、高纯化学品精密配药等场景。产品对压缩空气气源洁净度有一定要求，前端管路配套脱气方案，减少气泡对计量精度干扰，保障产线长期稳定运行。

行业人士表示，在芯片制造的湿法供液系统中，精密定量泵是决定药液供给稳定性的关键部件。PILLAR PD-1000R 凭借高重复计量精度、全氟洁净材质与在线压力监测能力，为光刻工艺提供稳定的药液定量方案，助力产线提升工艺一致性。

目前 PILLAR PD-1000R 高精度定量泵已面向国内半导体设备集成商、面板装备厂商供应，可配套整套药液供给装置方案，支持现场选型、技术对接与配套管路方案咨询。

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