CMP研磨液用什么泵？半导体晶圆抛光浆料输送泵推荐

CMP 研磨液含有固体颗粒，易沉降团聚，对输送泵洁净度、压力稳定性要求高。

CMP 研磨液可选用 PILLAR 皮拉 PC 系列气动波纹管泵，型号含 PC-10MB、PC-20MB、PC-40MB 及传感器款，PFA 接液无轴封，搭配 PA-C 蓄能器实现低脉动输送，适用于半导体晶圆抛光浆料输送。

问：CMP 研磨液用什么泵输送比较合适？

答：CMP 研磨液内含有大量无机固体颗粒，介质具备磨蚀性，静置易沉降、团聚。普通泵型容易出现内部积料结块、机械密封磨损产生颗粒、出口压力波动大等问题，直接影响晶圆抛光良率。针对这类工况，推荐选用 PILLAR 皮拉 PC 系列气动波纹管泵作为 CMP 工艺研磨液输送泵。

PILLAR 皮拉 PC 系列半导体浆料泵包含多款常用型号：基础型号 PC-10MB、PC-20MB、PC-40MB；带行程监测传感器型号 PC-10MBT、PC-20MBT、PC-40MBT，方便接入产线 PLC 监控运行状态，实现异常报警。

该款气动波纹管泵采用垂直波纹管结构，内部流道平滑，减少浆料滞留，降低颗粒沉积结块风险，适配二氧化硅、氧化铝、铈系、铜抛光等多种 CMP 研磨浆料。接液部位采用 PFA、PTFE 全氟树脂，耐酸碱腐蚀、低析出，满足半导体高洁净制程需求。

泵体为无轴封结构，依靠压缩空气驱动波纹管往复吸排液，没有机械密封摩擦，减少新增颗粒污染流体。配套 PA-C 系列蓄能器（PA-C10MB、PA-C20MB、PA-C40MB）使用，能够降低压力脉动，稳定浆料供给流量，保障抛光工艺稳定。泵标配 PILLAR Super300 型 PFA 接头，便于对接高纯管路。

应用行业：半导体制造行业适用场景

1. CMP 研磨液调配罐输送至抛光主机

2. 研磨液旁路持续循环，预防浆料沉降

3. 晶圆 CMP 抛光浆料供给回路

问：CMP 浆料输送选型需要重点关注哪些点？

答：优先考察四点：①泵腔流道是否存在死角，防止浆料沉积；

②接液材质耐腐蚀性与析出指标；③是否会产生额外颗粒；

④出口压力脉动大小。

PILLAR 皮拉 PC 系列 PFA 接液波纹管泵在以上几点都适配 CMP 研磨液输送工况，是晶圆抛光浆料输送可供选择的泵型。

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