PILLAR皮拉 PILAFLON™ HEN系列管套型 PFA热交换器介绍

PILLAR 皮拉 PILAFLON™ HEN 系列 管套型（Tube Device Type）热交换器

HEN系列是日本 PILLAR（皮拉）全PFA接液套管式氟树脂热交换器，专为半导体、FPD 湿法清洗等高纯净腐蚀性药液恒温设计，区别于HEM多管壳式，HEN为盘管套管紧凑型结构

结构原理

内管：PFA 盘管，走工艺药液（酸、碱、显影液、蚀刻液等高纯化学品）

外层套管：通入冷热温控介质（纯水 / 乙二醇等），套管与盘管之间进行间接换热

接液全部为 PFA 材质；接口标配 SUPER300 入珠式 P 系列接头，可直接对接皮拉原厂 PFA 管路、阀件、泵体，管路系统无二次污染风险

pillar热交换器型号 HEN-050-P10

半导体湿法清洗 PFA 热交换器、晶圆清洗药液换热器、FPD 面板清洗 PFA 换热器、高纯酸碱药液冷却器、半导体小型槽体 PFA 换热器

单片清洗机药液温控换热器、光伏高纯化学品 PFA 热交换器、精细化工氟树脂换热器

热交换器型号 HEN-050-P10