PILLAR皮拉 HEMTM多管式（多管束 PFA）热交换器 应用场景

PILLAR 皮拉 PILAFLON™ HEMTM 系列多管式 PFA 热交换器，适用于大流量、大容量药液主循环恒温工况，满足高洁净、强腐蚀介质的加热与冷却需求。

PILLAR 皮拉 HEMTM 多管式（多管束 PFA）热交换器 应用场景

核心定位：大流量、大型槽体主循环、高洁净 + 强腐蚀药液恒温，和 HEN 小流量回路形成互补，适合连续产线大容量药液循环加热 / 冷却

多管束 PFA 热交换器、大流量氟塑料换热器、半导体大型槽药液恒温器、PCB 蚀刻槽 PFA 换热器、FPD 湿法槽热交换器

一、半导体行业（核心主力场景）

1. 晶圆湿法清洗大型浸槽主循环：SC1、SC2、硫酸双氧水混合药液恒温槽，大容量药液持续控温，降低金属离子析出，减少晶圆颗粒缺陷

2. 湿法刻蚀、剥离槽药液温控：光刻胶剥离液、硅 / 氧化层蚀刻液大流量循环加热冷却

3. 超纯水回路恒温：18.2MΩ・cm 超纯水加热、冷却，维持高电阻率

4. 化学机械抛光 CMP 后清洗槽药液循环系统

二、FPD 显示面板行业（LCD/OLED）

1. 玻璃基板大型清洗槽药液恒温

2. 彩膜、阵列段蚀刻、剥膜槽大流量酸碱药液温控

3. 面板显影液循环回路加热冷却

三、PCB 印制电路板行业

1. 线路板蚀刻槽（酸性蚀刻液）恒温循环

2. 棕化、除胶渣、微蚀槽大容量药液控温

3. 剥膜、显影槽连续生产药液冷却 / 加热

四、光伏新能源

1. 硅片制绒槽酸碱药液大流量恒温

2. 刻蚀槽、清洗槽高纯化学品循环温控

五、精细化工 & 特种电子化学品

1. 高纯电子试剂生产循环换热、酸碱回收冷却

2. 高腐蚀性有机药液恒温，要求无金属污染的合成 / 过滤回路

六、其他电子表面处理

1. 阳极氧化、化学镀大型槽液恒温

2. 电镀前处理酸洗槽大容量换热