PILLAR皮拉 HEMTM多管式（PFA多管束）热交换器 工作原理

PILLAR皮拉HEMTM 多管式 PFA 热交换器采用壳管多管束结构，药液走管内、温控介质走壳程，介质逆向流动，通过 PFA 管壁实现热量交换，介质相互隔绝。设备依托 PFA 耐腐低析出特性，广泛用于半导体、FPD、PCB 湿法工艺的高纯药液恒温换热。

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在半导体、FPD 显示、PCB 制造等湿法工艺中，高纯腐蚀药液的温度稳定性直接影响产品良率，PFA 材质多管式热交换器是药液恒温系统的核心设备，PILLAR皮拉HEMTM 系列就是这类多管束换热设备。

HEMTM 多管式热交换器属于壳管式换热结构，设备壳体内排布大量 PFA 氟树脂细管束，将腔体划分成两套互不连通的流体通道：管程与壳程。生产所用高纯酸碱药液在 PFA 管束内部（管程）流动；冷水、热水、乙二醇防冻液等温控媒介，在管束外部的壳体空间（壳程）流通。冷热介质采用逆向流方式运行，两种液体隔离，不会发生混合，仅依靠 PFA 管壁作为导热媒介传递热量，以此完成工艺药液的加热或者冷却。

逆向流设计可以维持换热区间稳定温差，保障持续稳定的换热能力。同时 PFA 氟树脂材料耐强化学腐蚀、析出低，不会污染高纯药液，适配半导体晶圆清洗、面板蚀刻、PCB 槽液温控等对洁净度、耐腐蚀性要求较高的工况，为湿法工艺提供稳定可靠的药液温控解决方案。