PILLAR皮拉 SUPER300 P系列 PFA柱接头 半导体湿制程高纯流体管路解决方案

半导体、FPD显示行业湿制程工艺对药液输送管路的洁净度、耐腐蚀性要求严苛。日本PILLAR皮拉SUPER300TYPEP系列压入式PFA柱接头，采用高纯PFA氟树脂制造，具备低析出、耐化学腐蚀、装配便捷等特点，广泛应用于高纯酸碱药液、超纯水输送管路。本文介绍该系列接头的材料特性、产品类型、选型要点及现场使用规范，为高纯流体管路选型提供参考。1引言晶圆清洗、湿法刻蚀、面板显影等湿法工艺，需要持续输送各类强腐蚀高纯化学药液。管路接头作为系统关键部件，一旦出现材料溶出、渗漏，会直接...

查看更多

双工位堆叠 SRD 晶圆甩干机技术解析：兼顾产能与产线冗余的湿法干燥方案

双工位堆叠式晶圆旋转冲洗甩干机（SRD）技术解析——OKK大宫工业双腔机型在半导体湿法清洗工艺末端，晶圆干燥是决定颗粒、水痕缺陷与最终良率的关键工序。传统单腔SRD产能有限，设备故障即造成整条湿法线停线。OKKHorizon上下堆叠双工位晶圆甩干机，采用双独立腔体架构，在单台设备内集成两套完整旋转干燥系统，兼顾产能提升、产线冗余与洁净室占地优化，广泛适配硅基、碳化硅、氮化镓、蓝宝石、光罩及玻璃基板等2~12英寸基板的量产与研发场景。本文从结构原理、核心技术、工艺优势、应用选型...

查看更多

日本OKK大宫工业 Spin Dryer晶圆旋干机 半导体湿法精密干燥设备技术

日本OKK大宫工业半导体湿法设备，晶圆清洗干燥与薄膜贴附工艺解析一、企业概况日本大宫工业株式会社（OHMIYAIND.CO.,LTD.，简称OKK），总部位于日本广岛，1975年成立，深耕精密旋转设备、半导体湿法工艺装备、精密贴合/剥离、UV照射及设备状态监测领域，面向半导体、MEMS、光学基板、显示器件等精密制造场景提供工艺设备与配套技术服务。区别于传统机床品牌OKK（大阪机工），广岛OKK大宫工业主打晶圆湿法清洗后干燥、薄膜贴附剥离、基板再生修复等工艺设备，依托自研自动动...

查看更多

MUSASHI武藏ML‑6000X搭配HOYA豪雅EXECURE4000 UV胶点胶固化成套工艺方案

MUSASHI武藏ML‑6000X搭配HOYA豪雅EXECURE4000UV点光源UV胶点胶固化成套工艺方案MUSASHI武藏、ML‑6000X、HOYA豪雅、EXECURE4000、UV点光源、气动脉冲点胶控制器、UV胶固化、光纤UV光源、工业点胶固化摘要：UV胶点胶+紫外固化是精密零部件组装的核心工艺。MUSASHI武藏ML‑6000X气动脉冲点胶控制器搭配HOYA豪雅EXECURE4000光纤式UV点光源，可实现流体分配与定点紫外固化工序联动，适配自动化产线集成，广泛应...

查看更多

HOYA豪雅 EXECURE 4000-D UV点光源 光纤式紫外固化光源技术介绍

UV点光源广泛应用于精密零部件局部UV胶固化工艺。HOYA豪雅EXECURE4000-D光纤导入式UV点光源，搭载200W汞氙灯管，照度输出稳定，支持RS485通讯与I/O信号交互，设备布局灵活，便于集成自动化产线，多用于消费电子、光学、半导体、医疗组件等精密粘接固化场景。本文介绍设备技术特点、功能参数及行业应用。随着精密组装工艺持续发展，小范围、定点式UV固化需求不断增加。光纤式UV点光源，可将紫外光引导至狭小工位，完成局部UV胶固化，减少大面积光照带来的热影响。HOYA豪...

查看更多