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日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计
产品简介:

TTORAY 东丽 LD-600 酸素濃度計(氧分析仪)LD-600 是东丽新一代分体式氧化锆氧分析仪,主打EtherCAT 高速通信与超薄型设计,面向半导体真空 / 惰性气氛与工业 4.0 自动化产线。日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计

产品型号:LD-600

更新时间:2026-05-25

厂商性质:代理商

访问量:9

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产品介绍


日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计

日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计

日本TORAY东丽锆石型EtherCAT氧浓度计LD-600/SD传感器

  • 10ppm未満

  • 10ppm以上

  • 1000ppm(0.1%)以上

  • 负压/大气压

  • 直流电源

  • 以太网控制自动化技术

  • CE标志

EtherCAT通信氧浓度计LD-600/SD传感器是利用我司多年积累的半导体・电子行业用氧浓度计的制造技术,开发出适用于各种装置的产品,包括真空装置。
本产品搭载了我司独自的长期稳定且高精度的小型氧化锆传感器,并且配备了氧传感器保护机构,实现了超越传统产品的耐久性。此外,氧传感器和转换部件采用分离设计,非常适合需要更高处理速度的装置和应用。

日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计

产品的特点

・可以进行EtherCAT通信

使用EtherCAT通信用于装置和应用的嵌入。

・节省空间设置

通过将酸素传感器和薄型转换器分离结构,大幅减轻了安装位置的限制。

・真空气氛对应

使用不需要采样的直插传感器,即使在真空气氛下也能进行测量。

・超高速响应

分离传感器实现短响应。

・高耐久性传感器

通过在传感器上进行特殊涂层加工,实现了高耐久性。

※SD传感器的详细特点和规格请参阅SD传感器产品目录

・適合規格

CE标志……EN61010-1、EN61326-1

RoHS指令……EN63000


日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计
LD-600前面面板
日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计
SD传感器(4种)

机器规格

形状分离型(变频器:据置固定/壁挂式、传感器:直插式)
表示方式表示なし
测定范围0.001ppm~100%(10-20~10-0atm設定は、オプション対応)
ppm单位的浮点输出
传感器连接ISO真空法兰NW16、25、40
或者任一R3/8螺纹
连接变频器~传感器间间接连接通过专用线连接
标准长度2米,最大10米
比较气体大气
质量转换器LD-600:约0.8kg
传感器SD16NW:约0.2kg
SD25NW:约0.2kg
SD40NW:约0.35kg
外形寸法转换器LD-600:65(W)×130(H)×125(D)
(单位:mm、突起部不含)
传感器SD16NW:全长 100mm(感应部φ11×39、主体部φ40×51)
SD25NW:全长 100mm(感应部φ11×42、主体部φ40×48)
SD40NW:全长 100mm(感应部φ11×41、主体部φ40×49)
(单位:mm、不包括突起部分)
注:传感器单元根据每个检测部分的客户指定,为 SD16NW/SD25NW/SD40NW 中的任意一个。

特性

返复性0~1%范围内以上:±0.5%FS以下
0~1%范围内以下:±1.0%FS或±0.1ppm,以较大者为准
※0~1ppm 范围以下不保证
空气点稳定性±1%FS以下/24小时
暖机时间6分钟以内

工程规格

通信出力规格通信方式:EtherCAT I/F (ETG 5003.1、ETG5003.2准拠)
프로필:Common device profile
프로토콜:ETG 5003.1 CDP对应(CoE、FoE)
试料气体条件在还原气氛下请勿使用。另外,高浓度的He等,测定时气体的比热变高时可能无法使用。
温度:0~100℃
压力:10-3Pa~200kPa(绝对压力)
湿度:露点在环境温度以下
流量:0.5~5L/min或者0L/min(自然扩散状态的测量将成为测量内容)
暖机时间6分钟以内
电源电源:DC24V、3A
消耗功率:80VA(稳定时:30VA)
设置条件设置场所:室内、非防爆区域
周围温度:转换器:0~40℃
     传感器单元:0~50℃
周围湿度:35~80%RH(无冷凝现象)
设置部位温度:转换器:0~40℃
      传感器单元:0~100℃
不含可燃成分、卤素、二氧化硅及腐蚀成分
  • 关于上述规格之外的其他要求,请另行协商。

日本TORAY东丽半导体分析仪器酸素浓度计

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