东富科日本流量控制器TOFCO超声波流量计 日本TOFLOCORPORATION（东富科株式会社）全系列流量计：覆盖涡街式、叶轮式、浮子式、质量流量计等品类，产品型号总数超2000种，可满足不同工况下的流体流量测量需求。半导体专用设备：布局半导体领域，提供基板检查装置和半导体冷却水路集成系统，适配精密制造场景的特殊需求。

东富科日本流量控制器TOFCO超声波流量计

TOFCO东富科是源自日本的流体计量仪器，是日系精密流量测量领域的代表性品牌之一。

日本TOFLOCORPORATION（东富科株式会社）1973年成立，专注流量测量仪器研发生产，品牌名“TOFCO"是“Total Flow Consultant"的缩写，意为专业流量顾问。

核心主营产品线

●全系列流量计：覆盖涡街式、叶轮式、浮子式、质量流量计等品类，产品型号总数超2000种，可满足不同工况下的流体流量测量需求。

●周边配套部件：同步生产流量控制器、数显表、过滤器、化学阀门等配套配件，形成完整的流量测量系统解决方案。

●半导体专用设备：布局半导体领域，提供基板检查装置和半导体冷却水路集成系统，适配精密制造场景的特殊需求。

三、核心适配场景

1.化工、制药行业的流体流量精准计量，适配非腐蚀性、弱腐蚀性液体和气体的测量场景。

2.半导体制造车问的冷却水路流量监测，保障精密生产设备的温控系统稳定运行。

3.工业自动化系统的流体参数采集，为楼宇自控、生产管控系统提供精准的流量数据支撑。

4.印刷电路板生产环节的专用检测设备配套，满足电子制造行业的特殊检测需求。

东富科日本流量控制器TOFCO超声波流量计

TOFCO东富科全系列产品的分类、核心特性与适配场景：

一、流量测量核心产品线

1. 涡街流量计系列

核心特性：无运动部件，长期运行无磨损，可同时测量液体、气体、蒸汽三类介质，测量精度可达±1.0%FS。

·适配场景：化工、暖通系统的蒸汽管网流量计量，工业循环水系统的实时流量监测。

优势：抗振动性能优异，可在风机、水泵周边的强振动工况下稳定运行，无需频繁维护。

2.叶轮式流量计系列

核心特性：高灵敏度，小流量下也能精准捕捉，测量精度可达±0.5%FS，支持小口径管路的精准计量。

·适配场景：半导体超纯水输送管路、制药纯化水系统的高精度流量监测。

优势：体积小巧，可直接安装在狭小的设备内部管路中，适配空问受限的安装场景。

3.浮子式流量计系列

核心特性：结构简单可靠，无需外接电源即可现场直读流量数值，适配防爆工况。

·适配场景：化工车问的腐蚀性流体管路、实验室气体流量调试场景。

优势：成本低，长期运行稳定性强，几乎无易损件，运维成本极低。

4.热式质量流量计系列

核心特性：直接测量气体质量流量，无需额外温压补偿，测量精度可达±1.5%FS。

·适配场景：半导体工艺气体输送管路、洁净室新风系统的风量精准计量。

优势：低压损，不会对原有管路的气流状态造成明显干扰，适配低流速气体测量场景。

二、流量控制与配套部件产品线

1.流量控制器系列

·核心特性：集成流量测量与自动调节功能，可将管路流量稳定控制在设定值的±2%范围内。

适配场景：半导体工艺制程的流体精准配比、制药生产线的药液定量输送控制。

2.数显流量显示表系列

核心特性：支持4~20mA模拟信号接入，可实时显示瞬时流量与累计流量，带报警输出功能。

·适配场景：自动化系统的本地流量数据可视化，可直接对接楼宇自控、生产管控系统。

3.流体专用过滤器系列

·核心特性：316L不锈钢材质，过滤精度可达0.5μm，可滤除流体中的微小杂质，保护后端流量计机芯不被磨损。

适配场景：高纯度流体、弱腐蚀性流体管路的前置过滤，延长流量计使用寿命。

4. 化学专用阀门系列

核心特性：采用PTFE防腐材质，适配强腐蚀性化学流体，开关寿命可达10万次以上。

·适配场景：化工、PCB行业的腐蚀性流体管路通断控制，与流量计联动实现定量加药功能。

三、半导体专用设备产品线

1. 基板检查装置系列

核心特性：搭载高精度光学检测模块，可快速识别PCB基板表面的微小划痕、缺陷，检测精度可达μm级。

·适配场景：电子制造行业的印刷电路板出厂前全检，提升产品良率。

2.半导体冷却水路集成系统

·核心特性：集成流量、温度、压力多参数监测，可实时监控半导体生产设备的冷却水路运行状态，带漏水报警功能。

。适配场景：晶圆制造设备、光刻机的冷却系统配套，保障精密设备温控稳定。

四、产品通用优势

●全系列产品均通过ISO9001质量体系认证，核心部件日本原厂生产，子公司完成本地化组装校准，货期比纯进口产品缩短50%以上。

●支持非标定制，可根据现场工况调整量程、接口材质、输出信号类型，适配特殊场景的使用需求。

●全系列流量计提供1年质保，可提供上门调试、年度校准的本地化服务，大幅降低后续运维成本。