PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。铃田供应高洁净晶圆清洗药液加注泵 PILLAR定量泵

PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。

铃田供应高洁净晶圆清洗药液加注泵 PILLAR定量泵、高洁净晶圆清洗药液加注泵 PILLAR定量泵

超高耐蚀洁净材质：所有接液部件均采用PFA、PTFE含氟聚合物材质，无金属接触药液，可耐受各类酸碱、有机溶剂、蚀刻液、清洗液等特殊化工药液，同时材质本身不析出、不污染药液，满足高洁净制程要求。

高精度定量输出：设备重复计量精度可达1%，单次吐液量稳定可控，冲程运行均匀，杜绝药液补给过量、不足问题，适配精密制程的定量补液需求。

宽温稳定运行：支持10℃~100℃药液温度工况，适配冷热药液补给场景，高温环境下材质不变形、性能不衰减，运行稳定性。

气动安全驱动：采用气压驱动方式，无电机运转、无电火花，适配易燃易爆化工药液场景，作业安全性高，同时结构简洁、故障率低。

适配性强易调试：冲程速度、供气压力可精准调节，可根据不同药液粘度、补液量需求灵活调整参数，适配多场景定量补液作业。

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型号PW系列、PW-5MA、PW-10MA、PW-5MA-P、PW-10MA-P

类型药液补充用

定量类型

产品信息由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。

由于重复吐出精度高，因此适用于需要定量的地方。

主要构成材料接液部：PFA、PTFE

主要用途药液供应装置・清洗装置的药液补充用

规格与参数信息使用液温度：10～100℃

呼出容量：5，10Ml/shot

冲程速度：4～40spm

供气压力：0.2～0.25MPaG

类别氟塑料产品／波纹管泵

设备核心接液组件全部采用氟树脂材料，PTFE材质具备耐腐蚀性、抗老化性，可长期耐受强腐蚀药液冲刷；PFA材质兼具高洁净度与优异的耐高温、抗渗透性能，无药液残留、无杂质析出

PW系列定量泵主打精密药液定量补充场景，核心应用领域如下：

半导体行业：晶圆清洗设备、蚀刻设备、镀膜设备的药液自动补给；

精密化工：高纯试剂、酸碱药液、有机溶剂的定量加注与补液；

光电行业：面板清洗、光刻辅助药液精准补给；

实验室精密制程：各类化学试剂、实验药液的定量配比与补充。

PILLAR PW 系列定量泵｜晶圆清洗设备药液补充泵

晶圆清洗设备药液补给 PILLAR PW 氟树脂定量泵

半导体晶圆清洗用 PILLAR PW 系列波纹管定量泵

PILLAR PW 计量泵 晶圆清洗设备酸碱药液定量补充

高洁净晶圆清洗药液加注泵 PILLAR PW 系列定量泵