PILLAR SPELA™300 PS/PS-E 系列风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应日本PILLAR风囊泵 晶圆湿制程药液循环泵

日本PILLAR风囊泵 晶圆湿制程药液循环泵、日本PILLAR风囊泵 晶圆湿制程药液循环泵

日本 PILLAR 皮拉 PW 定量泵与 PS/PS-E SPELA™300 风囊泵，全 PFA/PTFE 接液，气动波纹管结构。风囊泵实现低脉动药液循环输送，PW 定量泵用于药液定量补充，广泛用于半导体晶圆湿制程、FPD 面板、光伏硅片等高纯腐蚀药液供液场景。

型号PS系列

类型药液供应・循环用

低脉动类型

产品信息由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。

由于泵功能与蓄能功能一体化，一台泵即可降低脉动。

主要构成材料接液部：PFA、PTFE

主要用途药液供应装置・清洗装置的循环管路

规格与参数信息使用液温度：10～100℃

最大吐出量：12，24，35，48L/min

供气压力：0.2～0.5MPaG

※使用时，请务必阅读说明书。

类别氟塑料产品／波纹管泵

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PILLAR PW 系列 药液补充定量泵

PW 系列为波纹管式定量计量泵，用于药液定量补给。

• 接液材质：PFA、PTFE 氟树脂

• 驱动：气动驱动，无电火花

• 特点：计量重复精度≤1%，单次吐液稳定，冲程、供气压力可调；适用药液温度 10~100℃

• 典型型号：PW-5MA、PW-10MA、PW-5MA-P、PW-10MA-P

• 用途：晶圆清洗、蚀刻设备的药液自动定量补充、试剂配比加注

PILLAR PS / PS-E 系列 SPELA™300 风囊泵

SPELA™300 风囊泵，泵体内置蓄压结构，无需外接脉动阻尼罐，实现低脉动药液输送。PS 为标准款，PS-E 为紧凑型，节省设备安装空间；另有 H 后缀高温型号，最高可耐受 180℃药液。

• 接液材质：PFA、PTFE 氟树脂

• 驱动：纯气动驱动

• 特点：低脉动输出，波纹管耐疲劳，高洁净，耐强腐蚀酸碱、蚀刻液

• 典型型号：PS-10MA、PS-20MA、PS-40MA；PS-E10MA、PS-E20MA、PS-E40MA、PS-E40H

• 用途：晶圆湿制程、CDS 化学品供液柜、面板 / 光伏硅片的药液循环输送

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应用领域

半导体行业：晶圆单片清洗、槽式清洗、蚀刻、去胶、CMP 后清洗；CDS 化学品供液柜药液循环、定量补液

FPD 平板显示：LCD、OLED 面板清洗、蚀刻、剥离药液循环供给

光伏产业：硅片制绒、清洗、刻蚀酸碱药液输送

精密电子特化：高纯试剂、强腐蚀化学品输送、废液回收

其他场景：实验室高纯试剂供给、精密工件酸洗表面处理

系统搭配优势

整套泵组接液无金属，降低金属离子污染风险，满足高洁净制程要求

气动结构，适配腐蚀性、易燃易爆药液环境

分工清晰：风囊泵循环输送药液，定量泵按需补加药液，构建稳定的化学品供给回路

维护简单，氟树脂材质抗老化，适配连续化生产线运行

SPELATM300风囊泵 PS-E系列 中温用

清洗装置循环管路用

PS-E2MA, PS-E10MA, PS-E20MA, PS-E40MA