株式会社 PILLAR（皮拉）SPELA300 PS-E 系列 高温型波纹管泵 PS-E10H /风囊泵（波纹管泵），泵体集成蓄压结构，单台实现低脉动输出；全部接液部件为 PFA、PTFE 氟树脂，无金属接触药液，气动驱动，适配半导体晶圆湿制程、面板清洗的药液循环与输送。PS-E 为 PS 系列紧凑型版本，节省安装空间。铃田供应PILLAR皮拉SPELATM300高温风囊泵 PS-E系列

PILLAR皮拉SPELATM300高温风囊泵 PS-E系列、PILLAR皮拉SPELATM300高温风囊泵 PS-E系列

日本 PILLAR 皮拉 PW 定量泵与 PS/PS-E SPELA™300 风囊泵，全 PFA/PTFE 接液，气动波纹管结构。风囊泵实现低脉动药液循环输送，PW 定量泵用于药液定量补充，广泛用于半导体晶圆湿制程、FPD 面板、光伏硅片等高纯腐蚀药液供液场景。

株式会社 PILLAR（皮拉）SPELA300 PS-E 系列 高温型波纹管泵 PS-E10H / PS-E20H / PS-E40H

定位：半导体清洗装置循环管路专用气动波纹管泵（高温版本）PILLAR Sea...

产品特点

接液材质：全部接液部位采用PFA / PTFE 高纯氟树脂，耐强酸强碱、低金属离子析出，满足半导体湿法清洗高洁净需求PILLAR Sea... 

内置蓄压结构，低脉动：泵体集成蓄能功能，无需额外加装蓄压器，管路流量平稳，减少对晶圆清洗槽冲击，设备结构更紧凑PILLAR SEA... 

气动驱动：压缩空气驱动，无电机，适合高纯药液、高温酸碱清洗液循环工况 

高温耐受：专为清洗机高温药液循环设计

スペラ™300波纹管泵　

特点・规格

型号PS-E系列

类型药液供应・循环用

低脉动・紧凑型

产品信息由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。

由于集成了泵功能和蓄能功能，因此一台泵即可减少脉动。

PS-E系列是进一步小型化的PS系列泵。

主要构成材料接液部：PFA、PTFE

主要用途药液供应装置・清洗装置的循环管路

规格与参数信息＜中温用＞

使用液温度：10～100℃

最大吐出量：3，10，20，40L/min

供给空气压力：0.2～0.4MPaG

＜高温用＞

使用液温度：10～180℃

（PS-E40H仅限10～160℃）

最大吐出量：10，20，40L/min

供给空气压力：0.15～0.3MPaG

※使用时，请务必阅读操作说明书。

类别氟塑料制品／波纹管泵

应用场景

半导体晶圆清洗设备高温药液循环管路（SC1、SC2、稀 HF、高温碱液、热 DIW 循环） 

化学品供给单元、湿制程槽体循环 

LCD、FPD 面板清洗循环管线 

不建议用于 CMP 研磨液浆料输送，浆料场景推荐 PC 系列泵PILLAR SEA...

选型区分提示

PS-E H 型 = 高温型：清洗装置循环管路，160~180℃高温药液 

PS-E MA 型 = 中温型：10~100℃常规药液循环 

同品牌可配套：PILLAR PFA 管路、Super300 P 系列 PFA 接头、PFA 阀门，整套高纯氟树脂流体系统，保障清洗回路洁净度。

日本 PILLAR 皮拉 PS-E 系列高温波纹管泵 PS-E10H PS-E20H PS-E40H 清洗装置循环管路 

PILLAR SPELA300 PS-E10H/PS-E20H/PS-E40H 半导体湿法清洗高温药液循环泵 

株式会社 PILLAR PS-E 高温型气动波纹管泵 PFA 接液低脉动 晶圆清洗循环管路 

PILLAR 皮拉 PS-E40H PS-E20H PS-E10H 高纯氟树脂高温药液循环泵 

半导体清洗设备循环管路泵 PILLAR PS-E10H PS-E20H PS-E40H 气动风囊泵 

 PILLAR PS-E10H，PILLAR PS-E20H，PILLAR PS-E40H，PILLAR PS-E 系列，皮拉波纹管泵，SPELA300

日本 PILLAR 高温波纹管泵，半导体清洗装置循环管路泵，PFA 高纯药液泵，低脉动气动波纹管泵，晶圆湿法清洗循环泵，高温酸碱药液输送泵，PTFE 接液风囊泵，皮拉 PS-E 高温型泵

PILLAR PS-E 系列高温波纹管泵 PS-E10H/20H/40H 

皮拉 PS-E10H PS-E20H PS-E40H 清洗管路循环泵 

SPELA300 PS-E 高温型 半导体药液循环波纹管泵