日本 PILLAR 皮拉 SPELATM300 PS 系列中温风囊泵，型号 PS-10MA、PS-20MA、PS-30M、PS-40MA，泵体一体化蓄压，低脉动出液；PFA/PTFE 接液，高洁净无金属离子析出，适用于半导体药液供给管路、湿法清洗酸碱药液输送，中温 10~100℃。铃田（上海）科技有限公司PILLAR低脉动风囊泵 PS-10MA/20MA/30M/40MA

日本PILLAR皮拉 SPELATM300 PS 系列中温风囊泵，型号 PS-10MA、PS-20MA、PS-30M、PS-40MA，泵体一体化蓄压，低脉动出液；PFA/PTFE 接液，高洁净无金属离子析出，适用于半导体药液供给管路、湿法清洗酸碱药液输送，中温 10~100℃。铃田（上海）科技有限公司PILLAR低脉动风囊泵 PS-10MA/20MA/30M/40MA、

PILLAR低脉动风囊泵 PS-10MA/20MA/30M/40MA

PILLAR皮拉 SPELA™300（SPELATM300）PS 系列 中温风囊泵

用途：半导体药液供给管路、清洗循环管路；中温型，泵体集成蓄压结构，单机即可实现低脉动出液，无需外加蓄压器

pillar波纹管泵核心特点

全氟树脂接液：接液部 PFA/PTFE，耐强腐蚀、高洁净、无金属离子析出，适配电子级化学品

一体化蓄能结构：泵本体自带蓄压功能，出液脉动低，适合精密药液输送

纯气动驱动：无电机、无轴封，零泄漏，可空转，防爆，适合酸碱、溶剂药液

中温规格：使用液温 10～100℃；供气压力 0.2～0.4MPaGwww3.pilla...

日本PILLAR皮拉风囊泵型号对应流量（中温）

PS-10MA：最大吐出量 10 L/min

PS-20MA：最大吐出量 20 L/min

PS-30M：最大吐出量 30 L/min

PS-40MA：最大吐出量 40 L/min

同系列还有 PS-E 紧凑型版本，以及高温 H 型（10~180℃）可选

接口信息

PS-10MA：进出口 Rc1/4

PS-20MA：入口 Rc3/8，出口 Rc1/4

PS-30M：入口 Rc3/8，出口 Rc1/4

PS-40MA：入口 Rc1/2，出口 Rc1/4PILLAR SEA...

应用场景

半导体湿法清洗、CDS 化学品供给柜

药液输送、循环管路，防止药液沉淀分层

显影液、蚀刻液、稀酸、碱液、高纯溶剂输送

PILLAR 皮拉 SPELATM300 PS 系列中温风囊泵 PS-10MA PS-20MA PS-30M PS-40MA 半导体药液供给泵

日本 PILLAR 皮拉风囊泵 PS 系列 中温低脉动波纹管泵 高纯药液输送泵

SPELA™300 PS 系列皮拉风囊泵 内置蓄压 PFA 接液半导体供液泵

PILLAR 皮拉风囊泵、皮拉波纹管泵、SPELATM300 风囊泵、PS 系列风囊泵、半导体药液泵、高纯药液输送泵、气动风囊泵、低脉动风囊泵

PS-10MA风囊泵、PS-20MA风囊泵、PS-30M风囊泵、PS-40MA风囊泵

中温风囊泵、PFA/PTFE 接液风囊泵、内置蓄压风囊泵、半导体药液供给管路泵、晶圆湿制程供液泵、蚀刻液显影液输送泵、无金属离子析出泵、氟树脂气动波纹管泵、CDS 化学品供给泵、耐酸碱高纯泵、PILLAR 皮拉 PS 系列中温风囊泵 SPELATM300

皮拉 SPELA300 低脉动风囊泵 PS-10MA/20MA/30M/40MA

日本 PILLAR 半导体药液风囊泵 PS 系列