日本皮拉SPELA风囊泵家族中主打 “泵体自带蓄压功能、无需外接蓄能器即可实现低脉动“ 的氟树脂化学品供给泵，主要用于半导体、液晶制造工艺中的药液供给与循环清洗。铃田（上海）科技有限公司日本PILLAR皮拉药液供给与循环清洗风囊泵

日本皮拉SPELA风囊泵家族中主打 "泵体自带蓄压功能、无需外接蓄能器即可实现低脉动" 的氟树脂化学品供给泵，主要用于半导体、液晶制造工艺中的药液供给与循环清洗。铃田（上海）科技有限公司日本PILLAR皮拉药液供给与循环清洗风囊泵、日本PILLAR皮拉药液供给与循环清洗风囊泵

新型低脉动波纹管泵

特点・规格

型号PRS系列--PRS-50M

类型药液供应・循环用

新型低脉动类型

产品信息由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。

通过独特的运行机制，实现了更低的脉动。

主要构成材料接液部：PFA、PTFE

主要用途药液供应装置・清洗装置的循环管路

规格与参数信息使用液温度：15～100℃

最大吐出量：50L/min

供给气压力：0.2～0.5MPaG

※使用时，请务必阅读操作说明书。

分类氟塑料产品／波纹管泵

核心特点

• 低脉动：泵本身内置蓄压（accumulation）功能，直接实现低脉压，无需另装蓄能器，节省空间、降低成本

• 全氟接触：所有接液部件均由 PFA / PTFE 氟树脂制成，耐化学腐蚀、耐热、洁净度高

• 高洁净：面向半导体 / 液晶制程，在无尘室内一贯化生产

• 流体平滑：低脉压使药液流动平滑，减少管路水锤震动

PILLAR皮拉PRS系列风囊泵 主要应用行业

核心定位

PRS-50M主要用于化学品供给设备及清洗设备的循环管线，凭借全氟材质 + 低脉动特性，最聚焦的领域是半导体与液晶 / 平板显示制造。

半导体（主力）——晶圆湿法清洗（SC1、SC2、稀 HF、浓硫酸等强腐蚀液循环）；CDS 化学品供应柜内的主泵 / 循环泵；湿制程槽体循环；低粘度清洗水输送

液晶 / 平板显示（FPD/LCD）———面板清洗循环管线、显影 / 蚀刻 / 剥离液高纯供给

PCB 线路板——蚀刻工序、棕化、电镀槽药剂循环加料、废药水抽取

精细化工——酸碱助剂、有机合成溶剂输送，反应釜辅料定量添加

新能源锂电——电解液注液、清洗药剂循环转运

实验室 / 环保——理化试验介质输送、废液集中处理

PILLAR 皮拉、风囊泵、波纹管泵、贝罗斯泵、低脉动泵、氟树脂泵、全氟泵、化学品供给泵、计量泵

SPELA 系列、PE 系列（紧凑型低脉动）、PK 系列（大流量）、PC 系列（CMP 浆料专用）、PS-E 系列（高温低脉动）

PRS-50M、PRS-50M-PW10W8、PE-20MA、PE-40MA、PE-10HB、PE-80MA

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