PILLAR皮拉高精度定量泵PD-1000R用于科塔开发装置药液供应装置・清洗装置的药液补充用。由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。实现了± 0.005mL的重复吐出精度，可实现高精度的药液涂布。此外，粘度可达1000cP。铃田供应株式会社PILLAR 药液供应装置定量泵

株式会社PILLAR 药液供应装置定量泵、株式会社PILLAR 药液供应装置定量泵

PILLAR皮拉高精度定量泵PD-1000R用于科塔开发装置药液供应装置・清洗装置的药液补充用。由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。实现了± 0.005mL的重复吐出精度，可实现高精度的药液涂布。此外，粘度可达1000cP。

• 型号

• PD系列

• 类型

• 适用于光刻胶
  高精度定量型

• 产品信息

• 由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。
  实现了± 0.005mL的重复吐出精度，可实现高精度的药液涂布。
  此外，粘度可达1000cP。

• 主要构成材料

• 接液部：PFA、PTFE

• 主要用途

• 用于科塔开发装置
  药液供应装置・清洗装置的药液补充用

• 规格与参数信息

• 使用流体：光刻胶液・纯水
  使用液温度：20～40℃
  最大液粘度：1000cP
  最大吐出压力：0.50MPaG
  最大吐出量：10mL/shot
  重复吐出精度：±0.005mL
  配备压力传感器
  
  ※使用前请务必阅读说明书。

• 分类

• 氟塑料产品／波纹管泵

• PD-1000R 是 PILLAR PD 系列高精度波纹管定量泵，专门面向半导体光刻胶涂布、药液供给装置的精密吐液场景，属于气动氟树脂波纹管式容积定量泵，区别于 PW 系列普通化学品补给泵，主打超高重复定量精度，适配光刻胶等高粘度敏感药液

核心特点

全氟接液材质：接液部件 PFA/PTFE，无金属污染，耐强腐蚀，洁净等级适配半导体工艺，不会污染光刻胶等光敏药液www3.pilla... 

超高吐出重复精度：±0.005mL，单次定量一致性远高于 PW 系列，满足光刻胶精密涂布要求 

宽粘度适配：最高可处理1000cP中高粘度药液（光刻胶、特种化学品） 

自带压力传感器，可实时监测泵内压力，异常报警，保护光刻胶管路，防止气泡、断液、压力冲击 

波纹管采用耐疲劳 PTFE 材质，无尘室生产组装，低颗粒析出

PILLAR皮拉高精度定量泵PD-1000R用场景

半导体光刻涂布设备，光刻胶定量吐出 

药液供给装置 CDS 精密配药、微量精准添加 

FPD 面板精密涂胶、显影液定量供给 

需要极小吐出误差、严控颗粒的精密湿法工艺