株式会社PILLAR皮拉PC系列气动波纹管泵，为半导体CMP化学机械抛光工艺开发，作为CMP研磨液输送泵，用于晶圆抛光研磨浆料输送与旁路循环。泵接液材质选用 PFA、PTFE 全氟树脂，耐酸碱腐蚀，低析出，适配半导体洁净制程。PILLAR皮拉CMP工艺研磨液泵 无轴封浆料泵

PILLAR皮拉CMP工艺研磨液泵 无轴封浆料泵、PILLAR皮拉CMP工艺研磨液泵 无轴封浆料泵

株式会社PILLAR皮拉 PC气动波纹管泵，专为半导体CMP化学机械抛光工艺设计，用于 CMP 研磨浆料输送与循环，是晶圆抛光产线核心供液设备。

PC 系列采用垂直波纹管结构，内部流道平滑，可有效减少研磨液滞留，抑制浆料沉降与颗粒团聚，适配二氧化硅、氧化铝、铈系、铜抛光等多种 CMP 研磨液。泵体接液部位采用 PFA、PTFE 全氟树脂材质，耐酸碱腐蚀，低析出、高洁净，满足半导体洁净制程要求。

泵体为无轴封结构，依靠气动驱动波纹管完成吸排液，不存在机械密封磨损产生颗粒污染的风险。搭配 PA-C 系列专用蓄能器，可实现低脉动供液，稳定出口压力，保障 CMP 抛光速率与晶圆表面良率稳定。

株式会社 PILLAR 皮拉 PC 系列气动波纹管泵，半导体 CMP 工艺专用 CMP 研磨液泵，用于晶圆抛光浆料输送与旁路循环。PFA/PTFE 接液材质，无轴封结构，降低颗粒污染风险。减少浆料沉降结块，搭配 PA-C 蓄能器实现低脉动供液。可选传感器型号适配自动化产线，PC-10MB、PC-20MB、PC-40MB 铃田现货供应。

特点・规格

• 型号、PC-10MB、PC-20MB、PC-40MB、PA-C10MB、PA-C20MB、PA-C40MB

• PC系列

• 类型

• CMP工艺・浆料用

• 产品信息

• 由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。
  该产品专为CMP工艺和浆料应用设计。

• 主要构成材料

• 接液部：PFA、PTFE

• 主要用途

• 使用浆液的药液供给装置、清洗装置、CMP装置的循环管路

• 规格与参数信息

• 使用液温度：10～100℃
  最大吐出量：12，24，48L/min
  供气压力：0.2～0.5MPaG
  
  ※使用时，请务必阅读操作说明书。

• 类别

• 氟塑料制品／波纹管泵

• 

• PC-10MB、PC-20MB、PC-40MB；带监测传感器型号 PC-10MBT、PC-20MBT、PC-40MBT，配套蓄能器 PA-C10MB、PA-C20MB、PA-C40MB。

• PILLAR 波纹管泵，皮拉波纹管泵，CMP 研磨液泵，半导体浆料泵，气动波纹管泵

• CMP 工艺研磨液输送泵

• 晶圆抛光浆料泵

• PFA 接液波纹管泵

• 无轴封气动波纹管泵

• 半导体 CMP 浆料循环泵

• 低脉动研磨液泵

• PILLAR PC 系列泵

• 皮拉 PC-10MB 研磨液泵

• 皮拉 PC-20MB 浆料泵

• 半导体高纯浆料输送泵