日本PILLAR皮拉株式会社，HEN系列换热面积包含 0.025、0.05、0.1、0.2㎡等常用规格，适配高纯酸碱、蚀刻液、显影液、超纯水等流体。主要用于半导体晶圆湿法清洗、刻蚀剥离，FPD 面板清洗，光伏、精细化工高纯化学品恒温。PILLAR皮拉 半导体套管盘管式PFA热交换器

PILLAR 皮拉 PILAFLON™ HEN 系列 管套型（Tube Device Type）热交换器

HEN 系列是日本 PILLAR（皮拉）全 PFA 接液套管式氟树脂热交换器，专为半导体、FPD 湿法清洗等高纯净腐蚀性药液恒温设计，区别于 HEM 多管壳式，HEN 为盘管套管紧凑型结构。

PILLAR 皮拉 PILAFLON™ HEN 系列为管套型氟树脂热交换器，全 PFA 接液结构，面向半导体、FPD 等行业高纯腐蚀性药液恒温工况开发。

产品采用套管盘管换热结构，内管 PFA 盘管输送工艺药液，外层套管通入温控介质，实现间接冷热换热。整机接液部位采用 PILAFLON™ PFA 材质，金属离子析出低，耐各类强酸强碱与高纯化学品，减少对晶片、基板的污染风险。

标配 PILLAR SUPER300 入珠式 P 系列接头，可直接对接原厂 PFA 管路、阀件与泵组，现场装配便捷，无需热焊；结构无垫片死角，支持 CIP 在线清洗。HEN 系列换热面积覆盖 0.025~0.2㎡，体积紧凑，适配小流量药液回路，可用于药液加热与冷却，适合单片清洗机、小型浸槽、微型药液循环系统内置安装。

PILLAR皮拉 半导体套管盘管式PFA热交换器、PILLAR皮拉 半导体套管盘管式PFA热交换器

结构原理

内管：PFA 盘管，走工艺药液（酸、碱、显影液、蚀刻液等高纯化学品） 

外层套管：通入冷热温控介质（纯水 / 乙二醇等），套管与盘管之间进行间接换热 

接液全部为 PFA 材质；接口标配 SUPER300 入珠式 P 系列接头，可直接对接皮拉原厂 PFA 管路、阀件、泵体，管路系统无二次污染风险

核心特点

耐强腐蚀 + 超高洁净：PILAFLON™ PFA，金属离子析出极低，适配半导体湿法药液，无溶出污染晶片 

紧凑体积：盘管套管结构，占用空间小，适合湿法槽体、小型清洗机内置安装 

安装便捷：SUPER300 入珠接头，现场装配快速，无需焊接；管路系统一体化匹配 

冷热两用：既可药液冷却，也可药液加热 

无垫片死角，便于 CIP 在线清洗

基础工况

接液材质：PFA（PILAFLON™） 

适用流体：各类高纯酸碱、有机药液、超纯水 

适配接头：SUPER300 P 系列（φ6/φ8/φ10/φ12/φ15 等可选） 

定位：小流量药液温控，适合单片清洗、小型浸槽、小循环药液回路

典型应用行业

半导体晶圆湿法清洗、刻蚀、剥离工艺 

FPD 液晶面板清洗设备 

光伏、锂电高纯化学品温控回路 

精细化工高纯腐蚀性流体恒温