PILLAR 皮拉 PILAFLON™ HEMTM 系列 多管式 PFA 热交换器

日本 PILLAR 皮拉 PILAFLON™ HEMTM 系列为多管束壳管式氟树脂热交换器，专为半导体、FPD 等行业大流量高纯腐蚀性药液恒温工艺开发。

产品采用 U 型 PFA 多管束换热芯，工艺药液在 PFA 管束内部流通，壳程通入温控介质进行逆流换热；药液接液部位全部为 PILAFLON™ PFA 材质，金属离子析出低，耐各类强酸强碱，降低晶片、基板污染风险。设备壳体选用 PVC/PP 材质，不接触工艺药液。

标配 PILLAR SUPER300 入珠式 PFA 接头，可直接配套原厂 PFA 管路、阀件与泵组，现场装配便捷，无需热焊接；U 型管束结构便于检修，死角少，支持 CIP 在线清洗，可实现药液加热与冷却。HEMTM 换热面积大，支持药液大流量循环，多用于大型湿法槽体主回路。同品牌小流量工况可参考 HEN 管套型热交换器。

结构原理

采用 U 型多根 PFA 细管束芯结构：
管内：走高纯工艺药液（PILAFLON PFA 管束，接液全 PFA）
壳程：通入冷热温控介质（冷却水 / 热水），逆流换热
壳体材质：PVC 或 PP，不接触药液；药液侧和温控介质隔离，间接换热

接口标配 PILLAR SUPER300 入珠式 P 系列接头，直接对接皮拉原厂 PFA 管路、阀、泵，系统无二次污染风险

核心特点

1. 高洁净耐强腐蚀：接液部分全部 PILAFLON PFA，金属离子析出低，适配强酸、强碱、蚀刻液、显影液等高纯腐蚀性药液
2. 换热效率高、支持大流量：多管束增大换热面积，适合槽体主循环大流量恒温工况
3. 模块化 U 型管束：管束可单独取出检修，维护便捷
4. SUPER300 入珠接头，现场装配无需热焊，拆装方便

5. 冷热两用，药液冷却、加热均可，结构死角少，支持 CIP 在线清洗

PILLAR株式会社PILAFLON晶圆湿法清洗换热器、PILLAR株式会社PILAFLON晶圆湿法清洗换热器

PILLAR 皮拉 HEMTM 多管式（多管束 PFA）热交换器 应用场景

一、半导体行业（核心主力场景）

1. 晶圆湿法清洗大型浸槽主循环：SC1、SC2、硫酸双氧水混合药液恒温槽，大容量药液持续控温，降低金属离子析出，减少晶圆颗粒缺陷

2. 湿法刻蚀、剥离槽药液温控：光刻胶剥离液、硅 / 氧化层蚀刻液大流量循环加热冷却

3. 超纯水回路恒温：18.2MΩ・cm 超纯水加热、冷却，维持高电阻率

4. 化学机械抛光 CMP 后清洗槽药液循环系统

二、FPD 显示面板行业（LCD/OLED）

1. 玻璃基板大型清洗槽药液恒温

2. 彩膜、阵列段蚀刻、剥膜槽大流量酸碱药液温控

3. 面板显影液循环回路加热冷却

三、PCB 印制电路板行业

1. 线路板蚀刻槽（酸性蚀刻液）恒温循环

2. 棕化、除胶渣、微蚀槽大容量药液控温

3. 剥膜、显影槽连续生产药液冷却 / 加热

四、光伏新能源

1. 硅片制绒槽酸碱药液大流量恒温

2. 刻蚀槽、清洗槽高纯化学品循环温控

五、精细化工 & 特种电子化学品

1. 高纯电子试剂生产循环换热、酸碱回收冷却

2. 高腐蚀性有机药液恒温，要求无金属污染的合成 / 过滤回路

• 型号

• HEMTM*-*-*

• 类型

• 模块类型

• 产品信息

• 具有高热效率性能，并有助于实现清洁化的换热器。
  “HEMTM*-*-*"是U型。

• 主要构成材料

• PFA、PTFE

• 主要用途

• 半导体制造设备等、要求高洁净度与耐腐蚀性的部位
  ※本产品仅限于液体加热、冷却或温度调节用途。

• 规格与参数信息

• 最高使用温度：160℃
  最高使用压力 ：0.5MPaG
  总括传热系数：300～750KJ/M2hr℃
  热交换器连接口：Super 300型柱式接头™

• 分类

• 氟塑料产品／阀门・换热器

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半导体晶圆湿法清洗、刻蚀剥离，FPD 面板清洗，PCB 化学处理，光伏高纯化学品温控。

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