日本PILLAR株式会社，pillar皮拉HEMTTW W型氟塑料多管式换热器，全 PFA 接液，双回程逆流换热，耐酸碱低金属析出，适配半导体、面板湿法药液温控，可选 PVC/PP 壳体，配套 SUPER300 入珠接头。铃田供应日本PILLAR皮拉株式会社半导体药液换热器

PILLAR株式会社——皮拉HEMTTW W型氟塑料多管式换热器 高纯PFA热交换器

产品信息具有高热效率性能，并有助于清洁化的换热器。

“HEMTW*-*-*"是W型。

主要构成材料PFA、PTFE

主要用途半导体制造设备等、要求高洁净度与耐化学性的部位

※本产品仅限于液体加热、冷却或温度调节用途。

规格与参数信息最高使用温度：160℃

最高使用压力 ：0.5MPaG

总括传热系数：300～750KJ/M2hr℃

热交换器连接口：Super 300型柱式接头™

分类氟塑料产品／阀门・换热器

PILLAR 皮拉 HEMTTW（W 型）属于氟塑料多管式换热器，为 W 型双回程结构，管内走工艺药液，壳侧通入温控循环水，依靠 PFA 薄壁管束实现冷热介质换热。设备接液部位全部采用 PFA 氟塑料材质，规避金属离子析出问题，适配半导体、FPD 面板等高洁净湿法工艺的药液恒温、加热与冷却需求。壳体标配 PVC 材质，也可按需选用 PP 材质，搭配 PILLAR SUPER300 入珠式 PFA 接头，便于和同品牌 PFA 管路、泵阀配套组成完整高纯流体系统。

日本PILLAR皮拉株式会社半导体药液换热器、日本PILLAR皮拉株式会社半导体药液换热器

PILLAR皮拉 HEMTTW

W型氟塑料多管式换热器 产品特点

W型双回程管束设计，在同等壳体空间内延长换热行程，提升换热面积，适配换热量较大的工况

全 PFA 接液组件，耐多种强酸、强碱腐蚀，低颗粒、低金属溶出，满足高纯化学品使用场景

PFA 管壁表面特性，药液附着较少，便于设备清洗，降低制程颗粒物累积风险

管束芯体可单独拆卸，方便检修维护

配套 SUPER300 入珠式 PFA 接头，安装拆装简便，减少垫片带来的污染隐患

壳体轻量化，PVC/PP 可选，耐受壳侧循环冷却水腐蚀

应用领域：半导体晶圆清洗、湿法刻蚀、显影工艺；FPD 液晶面板湿法制程；PCB 化学处理；光伏、精细化工高纯药剂、超纯水加热冷却。

选型提示

同系列还有 HEMTM U 型单回程换热器。U 型管路短，管侧压降更低，适合药液流量偏大、对压降敏感工况；HEMTTW W 型换热行程更长，换热面积更大，管侧压降相对更高，适合换热量需求较高、可接受一定压力损失的场景。

选型需结合换热负荷、药液流量、允许压降、接口规格与温度压力条件综合评估，欢迎咨询获取选型支持。铃田科技（上海）有限公司

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