日本orbray奥比睿分离式定制机精密测量设备奥比睿(Orbray）光学干涉内表面精密测量机是日本Orbray(原精工爱普生旗下精密测量品牌）推出的非接触式微孔内壁全参数检测设备，依托自研近红外光学干涉技术，无需破坏工件即可完成微小深孔内壁的多维度高精度测量，是精密微孔加工领域的日系检测方案。

日本orbray奥比睿分离式定制机精密测量设备

奥比睿(Orbray）光学干涉内表面精密测量机是日本Orbray(原精工爱普生旗下精密测量品牌）推出的非接触式微孔内壁全参数检测设备，依托自研近红外光学干涉技术，无需破坏工件即可完成微小深孔内壁的多维度高精度测量，是精密微孔加工领域的日系检测方案。

核心技术与性能参数

●测量原理：采用近红外光学干涉（OCT）技术，搭配品牌自研小Φ0.9mm微型电机驱动的特种光学探针，可深入深孔内部完成内壁全周扫描。

●最小可测孔径：Φ1.1mm，突破传统接触式探针无法进入微小深孔的测量限制。

●重复测量精度：σ<0.2μm，长期运行数据稳定性强。

●测量效率：单孔全参数测量仅需30秒，传统分设备逐项测量需30分钟，效率提升60倍。

●同步测量维度：一次扫描即可同时获取内径、圆度、圆柱度、内壁粗糙度、3D轮廓、同轴度等多组参数，无需在多台专用设备间切换。

●算法：搭载自研倾斜校正算法，自动补偿工件装夹倾斜带来的测量误差，普通操作人员也可快速上手完成高精度检测。
日本orbray奥比睿分离式定制机精密测量设备

典型应用场景

汽车燃油喷油嘴微孔内壁全参数检测，验证喷油孔加工精度，保障燃油雾化效果

航空航天精密液轴承、微小深孔零件内壁形位公差检测

医疗设备空心针、微流控芯片微孔内壁粗糙度与轮廓检测

分析仪器精密喷嘴、流体管路微小内孔的3D形貌全尺寸测量

半导体设备精密微孔零件的无损检测，无需对半切割工件即可完成全内壁评估

核心优势与使用提示

●非接触式测量，不会划伤高精度抛光的内壁表面，也不会对薄壁微孔零件造成挤压变形

●无需对半切割工件即可完成全内壁可视化检测，实现100%无损全检，大幅降低精密零件检测损耗

●不同孔径需搭配对应尺寸的专用光学探针，探针为全系列机型通用配件，可按需选配

●设备已在2026年日本东京JIMTOF机床展、德国慕尼黑electronica电子展作为核心展品展出，是当前微小内孔测量领域的前沿设备

Orbray奥比睿光学干涉内表面精密测量机全系列共4款量产机型，依托自研Φ0.9mm小微型光学探针，覆盖从实验室抽检到产线全检的全场景需求，最小可测孔径低至Φ1.1mm，重复测量精度σ<0.2μm。

在线式量产机型：orbid-i

·定位：大型产线集成专用机型，专为大批量工件在线全检设计

·核心参数：最小可测孔径Φ1.1mm，探针从上向下垂直插入工件

·标配功能：支持OK/NG自动判定、测量数据CSV批量导出，可直接对接产线MES系统

·适配场景：汽车喷油嘴、半导体精密微孔零件的产线100%全检工位，无需人工值守

·2026年新增升级选项：搭载光切换工具changer，支持探针自动切换，无需人工换针即可覆盖多规格孔径工件检测

桌上型质检机型：orbid-d

●定位：实验室、质检室通用主力机型，是国内半导体行业常用的型号

●核心参数：标准测量直径范围Φ1.1~40mm，探针从下向上插入工件

●标配功能：自带调心XY平台、Z轴进给平台，普通操作人员也可快速完成装夹对位

●适配场景：精密零件来料抽检、研发阶段样件全参数检测，是高校、第三方计量实验室的主流选型

●专属优势：整机体积小巧，无需特殊改造即可放置在常规实验台面上，部署门槛极低

分离式定制机型：orbid-sp

·定位：独立探针分体式机型，专为嵌入用户自有设备定制开发

·核心参数：最小可测孔径Φ1.1mm，探针插入方向按客户需求定制

·标配功能：仅提供光学测量核心单元，无需配套整机平台

·适配场景：集成到半导体晶圆检测机、自动化加工设备内部，实现加工后即时在线测量

·定制化能力：可根据客户设备内部空间，定制探针长度、安装接口，适配特殊狭小工位

科研基础机型：NMH-02

●定位：基础科研款，专为微结构形貌研究场景开发

●核心参数：最小可测孔径Φ1.1mm，垂直探针插入设计

●标配功能：开放全量测量原始数据接口，支持自定义算法二次开发

●适配场景：高校、科研院所的微深孔加工工艺研究，MEMS微结构形貌分析

●专属优势：可导出原始干涉扫描数据，支持科研人员自主开发定制化测量算法

2026年最新升级款：ORBID-ASD

·定位：测量量程扩展版，在原有精度不变的前提下，测量深度范围提升约2倍

·核心优势：可直接获取深沟槽、阶梯孔的完整内壁数据，大幅减少所需探针种类，降低多规格工件的换针频次

·适配场景：带阶梯孔、深沟槽的复杂结构精密零件检测，无需额外采购多支不同量程探针

全系列机型共用同系列光学探针，探针可在不同机型间通用互换，大幅降低后续耗材采购成本，所有型号均支持

ISO12180圆度、ISO4288粗糙度等国际标准的合规检测，测量报告可直接用于出厂质检归档。