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日本HORIBA堀场质量流量计,半导体工业钻石MPCVD)金刚石 MPCVD专用质量流量控制器。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量:10 SCCM至1000 SLM。SEC-N100系列还支持各种通信模式,SEC-N100系列应用于半导体及电子制造行业、光伏新能源行业、分析仪器与科研实验室、生物医药与化工领域、镀膜、环境监测、一般工业制程。HORIBA质量流量控制器半导体金刚石流量计
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