株式会社PILLAR皮拉PC系列气动波纹管泵，为半导体CMP化学机械抛光工艺开发，作为CMP研磨液输送泵，用于晶圆抛光研磨浆料输送与旁路循环。泵接液材质选用 PFA、PTFE 全氟树脂，耐酸碱腐蚀，低析出，适配半导体洁净制程。浆料防沉降循环回路PILLAR皮拉CMP浆料泵

株式会社PILLAR皮拉PC系列气动波纹管泵，为半导体CMP化学机械抛光工艺开发，作为CMP研磨液输送泵，用于晶圆抛光研磨浆料输送与旁路循环。泵接液材质选用 PFA、PTFE 全氟树脂，耐酸碱腐蚀，低析出，适配半导体洁净制程。PILLAR皮拉CMP工艺研磨液泵 无轴封浆料泵

株式会社PILLAR皮拉PC系列气动波纹管泵，为半导体CMP化学机械抛光工艺开发，作为CMP研磨液输送泵，用于晶圆抛光研磨浆料输送与旁路循环。泵接液材质选用 PFA、PTFE 全氟树脂，耐酸碱腐蚀，低析出，适配半导体洁净制程。半导体CMP研磨液输送泵PILLAR高精度浆料泵

株式会社PILLAR皮拉PC系列气动波纹管泵，为半导体CMP化学机械抛光工艺开发，作为CMP研磨液输送泵，用于晶圆抛光研磨浆料输送与旁路循环。泵接液材质选用 PFA、PTFE 全氟树脂，耐酸碱腐蚀，低析出，适配半导体洁净制程。株式会社PILLAR皮拉 PC系列气动波纹管泵

PILLAR皮拉高精度定量泵PD-1000R用于科塔开发装置药液供应装置・清洗装置的药液补充用。由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。实现了 0.005mL的重复吐出精度，可实现高精度的药液涂布。此外，粘度可达1000cP。铃田供应株式会社PILLAR PD-1000R光刻胶专用定量泵

PILLAR皮拉高精度定量泵PD-1000R用于科塔开发装置药液供应装置・清洗装置的药液补充用。由于接液部的所有部件均为氟塑料制成，因此该泵具有优异的耐化学性、耐热性和清洁性。实现了± 0.005mL的重复吐出精度，可实现高精度的药液涂布。此外，粘度可达1000cP。铃田供应株式会社PILLAR 药液供应装置定量泵