日本OKK大宫工业 Spin Dryer SPD系列 是专为半导体制造工艺设计的晶圆离心脱水设备，主要用于清洗后晶圆（2–12英寸）的高效、无污染干燥。OKK大宫自动平衡技术（FAB）‌与‌洁净室兼容设计‌，低振动、高洁净度脱水，避免颗粒污染，适用于前道工艺后的湿法处理环节。日本SPINDRYER甩干机 半导体行业用晶圆清洗机。OKK大宫工业8英寸半导体晶圆离心旋转干燥机

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