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日本OKK大宫工业 Spin Dryer SPD系列 是专为半导体制造工艺设计的晶圆离心脱水设备,主要用于清洗后晶圆(2–12英寸)的高效、无污染干燥。OKK大宫自动平衡技术(FAB)与洁净室兼容设计,低振动、高洁净度脱水,避免颗粒污染,适用于前道工艺后的湿法处理环节。日本SPINDRYER甩干机 半导体行业用晶圆清洗机。Spin Dryer离心甩干机 OKK半导体晶圆干燥机
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