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产品中心半导体晶圆甩干机KOKUSAN科库森SPD-180铃田科技代理日本Kokusan科库森晶圆甩干机
产品型号：SPD-180
更新时间：2026-06-23
厂商性质：代理商
访问量：15
服务热线13122891488
产品分类
日本KOKUSAN科库森（国産遠心機）铃田上海代理原厂半导体晶圆专用对向式甩干离心干燥设备，行业成熟量产机型，依靠离心力 + 洁净气流协同完成晶圆表面精密脱水干燥，适配半导体光刻、清洗后工序洁净制程株式会社コクサン。SPD-180、H840SA、对向式离心干燥机、自转式干燥机、晶圆清洗干燥设备
「遠心乾燥機（えんしんかんそうき）」= 中文离心干燥机、晶圆甩干机、Spin Dryer，
KOKUSAN 科库森两款机型：
H840SA 对向式远心（离心）干燥机
SPD-180 自转式远心（离心）干燥机
原理：高速旋转靠离心力剥离工件表面水分，搭配 ULPA 洁净风除静电，半导体晶圆湿法清洗后无水痕脱水专用。
KOKUSAN 科库森 H840SA 对向式离心干燥机，
KOKUSAN 科库森 SPD-180 自转式离心干燥机（Spin Dryer）
铃田科技代理日本Kokusan科库森晶圆甩干机、铃田科技代理日本Kokusan科库森晶圆甩干机
KOKUSAN、科库森、国産遠心機、SPD-180、自转式离心干燥机、自旋式甩干机、Spin Dryer
内置螺旋绞龙 / 螺旋叶片，依靠螺旋推送物料前进，配合夹套导热油 / 蒸汽加热烘干，属于传导式加热干燥，不靠离心力脱水。
常见类型：真空螺旋干燥机、卧螺沉降离心机（螺旋离心分离机）、连续螺旋输送烘干机。
| 项目 | 远心（离心）干燥机（科库森 SPD-180/H840SA） | 螺旋干燥机 |
|---|---|---|
| 脱水原理 | 离心力高速甩水，几乎无加热 | 螺旋推送 + 热传导烘干 |
| 适用产品 | 半导体晶圆、光学玻璃、精密小件 | 粉体、污泥、颗粒、粘稠物料、化工料渣 |
| 洁净等级 | Class100 高洁净、无尘车间使用 | 工业粗放烘干，无超高洁净要求 |
| 运行方式 | 批次式、单 / 双花篮晶圆处理 | 连续进料出料、大批量物料烘干 |
| 代表机型 | KOKUSAN SPD-180、H840SA | 卧式螺旋卸料沉降离心机、空心桨叶螺旋干燥机 |
※我们还有8英寸及以下的设备、手动机、自动机等产品。
在半导体以外的应用中，也请随时与我们咨询。
电话咨询：CHINA区域一级代理商铃田科技（上海）有限公司
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