TAZMO Co., Ltd.开发，制造和销售半导体制造设备，清洁传输系统，LCD制造设备，UV激光设备电镀设备,模具树脂成型，PCB的电镀/电路形成设备。TAZMO株式会社高清洁传送系统以准确，高速的设计理念为基础，晶圆输送机器人在实现高吞吐量和高精度运输的前提下，能够提供优秀的运行稳定性以及较长的免维护期限。TAZMO机器人3寸SEMI晶圆高清传送系统南京晶圆搬运MTE

TAZMO Co., Ltd.开发，制造和销售半导体制造设备，清洁传输系统，LCD制造设备，UV激光设备电镀设备,模具树脂成型，PCB的电镀/电路形成设备。TAZMO株式会社高清洁传送系统以准确，高速的设计理念为基础，晶圆输送机器人在实现高吞吐量和高精度运输的前提下，能够提供优秀的运行稳定性以及较长的免维护期限。

TAZMO Co., Ltd.开发，制造和销售

半导体制造设备，清洁传输系统，LCD制造设备，UV激光设备

电镀设备,模具树脂成型，PCB的电镀/电路形成设备

半导体制造相关设备

我司开发的涂布，显影设备以积累多年的专业知识以及生产技术赢得了来自世界各地客户的高度评价。

除此之外，我们还提供贴合，剥离，清洁，再生设备以及相关化学药品供应等多样的产品线。

TAZMO将竭力为客户提供各种创新型解决方案。

纳米压印技术

我们将根据我们在行业中培养的经验，丰富的专业知识和设备业务进行大规模生产。另外，我们还提供一个整套解决方案，涵盖从光学模拟到模具制造，蚀刻和检查的整套方案。我们将对应各种途径进行开发以满足不断变化的需求。

FPD制造设备

我司开发制作的各种平板制造设备被广泛用于液晶显示器制造领域。其中，用于液晶彩色滤光片的狭缝涂布装置通过对纳米级薄膜涂层的实现，在国际市场上确立了TAZMO的行业地位。

高清洁传送系统

以准确，高速的设计理念为基础，我们正不断地推进对运输系统所需空间的缩减。其中，我司开发的晶圆输送机器人在实现高吞吐量和高精度运输的前提下，能够提供优秀的运行稳定性以及较长的免维护期限。

通过满足客户的多样的机能需求，亦使得TAZMO获得了业界的高度评价

TAZMO高清洁传送系统一般环境用搬运机器人MTE系列，本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人

一般环境用搬运机器人MTSR系列，本产品是对应φ300mm晶圆的智能搬运机器人

一般环境用搬运机器人PLP对应，角基盤 300 ~ 650mm

一般环境用搬运机器人TT301A系列，本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人

真空机器人MTP系列，适用高真空高真空机器人MTP-BB3-2

实现了低震动.低噪音，可以支持次世代半导体制造装置。

预对准校正机MAF-R系列，支持高速化合物，玻璃制品背面吸附方式MAF-RAPN

本制品采用非接触方式，可高速调整晶圆的定向平面及中心定位。

预对准校正机MAF-S系列，支持高速化合物，玻璃制品边缘保持式MAF-SHKZ采用不接触背面方式，将晶圆的颗粒物污染控制在最小。

款适用φ300mm晶圆的机械嵌校准器。

高清洁传送系统一般环境用搬运机器人

MTE系列伺服电机自由访问型智能机器人

MTE-E本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。

以无导轨方式对应3FOUP。

日本TAZMO高清洁传送系统一般环境用搬运机器人通过替换装置,实现了晶圆的高速替换。

可以有偿选择映射传感器。

R.T与Z轴可分离的构造，让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。

提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。

适用对象：φ100mm ~φ300mmSEMI/JEITA規格晶片

运动范围：R轴: 590mm(机械臂最大到达距离)T轴: 350deg(原点: +175deg)W

轴: 360deg(原点: +180deg) Z轴: 300mmP轴: 1 80deg

R轴: 590mm(机械臂最大到达距离)T轴: 350deg(原点: +175deg)W

轴: 360deg(原点: +180deg) Z轴: 300mmP轴: 1 80deg

X,Y方向: +0.1mm (3σ)Z轴: +0.05mm (3σ)P轴: 0.02deg (3o)

晶圆保持方法：可任意选择

晶片保持确认数字：显示真空传感器

控制方式：RS232C,ETHERNET

适用电源：电源:单相AC208V 5A 1系统:单相AC100V 7.5A 1系统真空: -80kP

a以下1系统(中6 x中4聚氨酯管简易接头连接)

重量本体:约50kg控制装置(MCE):约18kg

TAZMO机器人3寸SEMI晶圆高清传送系统南京晶圆搬运MTE

TAZMO机器人3寸SEMI晶圆高清传送系统南京晶圆搬运MTE

代 理日本各类工业品:HOYA豪雅（固化光源）SAN-EI三英(点胶阀），MUSASHI武藏点胶机（点胶机），PISCO,Nordson诺信EFD（点胶机），IEI岩下（点胶机），aicohsha爱工舍ACM（立式搅拌机），日本KURABO仓纺脱泡机，日本THINKY日新基脱泡机，KLEENTEK可滤特（静电净油机），ASAHIKASEI旭化成（工业泵），TAGAWA十川（软管），YODOGAWA淀川（集尘机），MALCOM马康（锡膏粘度计），USHIO牛尾（点光源），SHOWA昭和电机（鼓风机），TSUBAKI椿本链条，KIKUSUI菊水（电源），CEDAR思达（扭力测试仪），MEISEI迈泽（电热剥线器）、SANKO山高(膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所（直流电源）、CCS光源(光源)、Tsubosaka壶坂（辉度箱）、POLARION普拉瑞（探照灯）AITEC艾泰克（检查光源）、Iwasaki岩崎（金卤灯）、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、cosmo科斯莫（气体测试仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、RION理音（测振仪）、HOKUTO DENKO北斗电工、SANYOSEIKO山阳精工、日本IMV爱睦威地震仪、TML东京测器、TOE东京光电子、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、LUCEO鲁西欧（偏光应力仪）、KYOWA共和（应变片）、ONOSOKKI小野（传感器）、FUJIKURA藤仓（单向阀）TOKISANGYO东机产业（粘度计）、SK新泻精机（水平测量尺）SKSATO佐藤（温度记录仪）、TECLOCK得乐（硬度计）、AND爱安得（电子天平）、KEM京都电子（水分仪）、TOHNICHI东日（扭力扳手）、Heishin兵神（定子）、TOKKYOKIKI特许机器（抗震台）、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半导体晶圆设备)、YUASA汤浅(弯折试验机)、SIMCO思美高（离子棒），SSD西西蒂(离子风扇)，DIT东日技研（防静电），KASUGA春日(离子棒)，TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、Filmetrics优尼康(膜厚测量仪)、TOKYO KEISO东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓（恒温箱）YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计）、KITZ开滋(阀门)、CKD喜开理(气缸)、AMANO安满能(集尘机)、NYS西村化工(半导体)、大菱计器OBISHI、Ultrasonic超音波工业、TAZMO株式会社（半导体晶圆搬运机器人）