日本IWAKI易威奇半导体气动泵与风囊泵广泛应用于对流体控制精度、耐腐蚀性及洁净度要求高的工业领域，尤其在半导体制造中表现突出。其核心产品采用全氟塑料材质与气动驱动技术，实现无金属污染、低脉动输送，适用于高纯化学品供给、清洗工艺与CMP制程等关键环节。IWAKI易威奇CFD全氟、高精度半导体气动泵

日本IWAKI易威奇半导体气动泵与风囊泵广泛应用于对流体控制精度、耐腐蚀性及洁净度要求的工业领域，尤其在半导体制造中表现突出。其核心产品采用全氟塑料材质与气动驱动技术，实现无金属污染、低脉动输送，适用于高纯化学品供给、清洗工艺与CMP制程等关键环节。

IWAKI易威奇CFD全氟、高精度半导体气动泵

IWAKI易威奇CFD全氟、高精度半导体气动泵

一、主要适用行业

1. 易威奇CFD全氟、高精度半导体气动风囊泵‌半导体制造‌

• 用于化学液体供药、单片清洗、光刻胶输送及CMP（化学机械抛光）工艺。

• FS-N系列和PDS-H115系列可耐受、硫酸等强腐蚀性化学品，确保晶圆表面洁净度达ISO Class 1标准。

• FLP系列低脉动设计，适用于对流量稳定性要求的单晶圆处理过程。

2. ‌医疗与化学分析‌

• 气动隔膜泵用于高纯试剂输送，避免交叉污染。

• KB系列风囊泵适用于自动分析仪器中的微量药液添加。

3. ‌新能源产业‌

• 支持燃料电池、二次电池（如锂电池）和太阳能电池生产中的化学品循环与供给系统。

4. ‌PCB（印刷电路板）与电镀行业‌

• 用于酸碱液输送、表面处理液循环，MDM系列PFA型号可将污染物析出降至。

5. ‌食品加工与制药‌

• KB/KBA/KBR系列结构紧凑、无泄漏，符合卫生标准，适用于食品机械与药品配液系统。

6. ‌环保与水处理‌

• TC-X系列气动隔膜泵用于工业污水、市政污水处理，具备耐酸碱、耐腐蚀特性。

二、核心产品系列介绍

1. ‌半导体气动风囊泵（FS系列）‌

• ‌代表型号‌：FS-80NT、FS-100NF、

• FS-15HT、FS-30HT、FS-60HT、FS-100H

• ‌特点‌：

• 吐出量达100L/min，适用于大流量高压力场景。

  过流部件全采用PTFE/PFA氟树脂材料，杜绝金属离子污染。

  内置接近传感器与漏液检测功能，支持自动化控制。

  工作温度范围5~60°C，气源压力0.7MPa。

2. ‌低脉动气动风囊泵（FLP系列）‌

• ‌代表型号‌：FLP-60W、FLP-75W

• ‌优势‌：

• 脉动范围低至0.06MPa，无需外接阻尼器，节省空间与成本。

  可输送高粘度光刻胶，适用于LED、MEMS等精密工艺。

  耐温达180°C，适应高温工况下的稳定运行。

3. ‌经济型风囊泵（KB系列）‌

• ‌代表型号‌：KB-3X、KBR-3X、KBA-3Z

• ‌应用场景‌：

• 小流量、低压力场合，如照片冲洗、自动分析仪、食品加工设备中的定量加药。

  结构简单、维护方便，适合OEM设备配套使用。

4. ‌气动隔膜泵（TC-X系列）‌

• ‌特点‌：

• 流量范围广（8~950L/min），适用于低粘度至高粘度液体输送。

  IP66防护等级，防爆设计，适用于易燃易爆环境。

  全塑料泵体，耐酸碱腐蚀，适合工业污水处理。

5. ‌高精度半导体专用泵（PDS-H115系列）‌

• ‌性能参数‌：

• 吐出精度达12mL/shot，支持高粘度液体（10,000mPa·s）。

  高压输出（1.0MPa），保障供药系统稳定性。

  广泛用于光刻胶、显影液等高价值化学品的精准输送。

CFD系列

全氟材质、高精度、分辨率高达1.0mL

精细流量调节的化学液补充系统

工作原理

压缩空气驱动波纹管往复运动，两端接近开关控制行程；气液隔离，无轴封泄漏风险；通过调节气压 / 冲程频率实现精密流量控制。

日本IWAKI易威奇半导体气动泵典型应用场景

晶圆清洗（批量 / 单片）、SPM/H₃PO₄蚀刻液输送、CMP 研磨液循环 / 补给；

高纯度化学品供液系统、混液循环、废液处理；

禁止金属污染、高温强腐蚀的半导体湿法工艺段。