OKK大宫工业（OKK）甩干机（旋转干燥器）主要面向半导体、电子零件等精密工业领域，核心是离心力+洁净气流的高速干燥，主打低发尘、高洁净、低震动。日本SPINDRYER甩干机 半导体行业用晶圆清洗机。日本OKKSG大宫工业晶圆载体清洗和干燥机器

OKK大宫工业（OKK）甩干机（旋转干燥器）主要面向半导体、电子零件等精密工业领域，核心是离心力+洁净气流的高速干燥，主打低发尘、高洁净、低震动。日本SPINDRYER甩干机  半导体行业用晶圆清洗机。

日本OKKSG大宫工业晶圆载体清洗和干燥机器

日本OKKSG大宫工业晶圆载体清洗和干燥机器

半导体和电子元件生产设备，载体清洗机

OKH-MR-系列

使用双流体喷雾清洗方法可以同时提高清洗效果和干燥效率！

大纲

载体清洗机是用于晶圆载体和载体盒的清洗和干燥机器。

它通过高压喷淋进行清洗，并通过离心力和清洁空气（或N2）进行干燥。

功能

提高干燥效率！

高速旋转通过离心力将工件表面的水分分散开，同时经过过滤的清洁空气被吹入进行干燥。（也可以使用N2规格。）

该设备实现了干燥效果的提升。通过使用独特的喷嘴，压缩空气可以吹走仅靠离心力无法分散的液滴。

考虑运行成本的环保规格

由于细颗粒被喷洒，这台机器的去离子水消耗量比传统机器减少了三分之一（我们公司的比较）。

这个环保设计考虑了设备价格和运行成本。

SPD160RN/SPD180RN/H840A/H1120RN/

OKH-MR（标准型）

用途：晶圆、陶瓷、玻璃、精密零件的清洗 + 甩干一体化

核心特点

同时喷射加压气体 + 微粒化纯水，清洗力强

高速旋转（10～600 min⁻¹，6 段速）+ 洁净风（可 N₂）干燥

转子 SUS304 电解研磨，低发尘；标配离子发生器、ULPA 过滤器

程序：10 种配方，定时 0～999 秒

规格（6 英寸载体）

尺寸：W950×D1340×H1200mm（开盖 H2020）

材质：外装 PVC 白，转子 SUS304 电解研磨

OKH-800SA 系列（高性能 / 大型）

型号：OKH-800SA

用途：大尺寸 / 大批量工件、晶圆干燥

特点

高刚性、高平衡精度，适合重载

气流优化，干燥更均匀

安全联锁、自动门、防震动设计

日本SPINDRYER甩干机  半导体行业用晶圆清洗机OKH-MR清洗 + 干燥一体机晶圆、陶瓷、玻璃、精密零件一站式处理同时喷射加压气体 + 微粒化纯水，6 段速（10～600 min⁻¹），10 种工艺配方，支持 N₂惰性气体

日本SPINDRYER甩干机  半导体行业用晶圆清洗机FAB-HSZ标准纯甩干机6/8/12 英寸晶圆、基板、精密零件快速脱水离心力 + 吸引气流双效干燥，大宫平衡技术低噪低振，离子中和 + ULPA 过滤

日本SPINDRYER甩干机  半导体行业用晶圆清洗机OKH-800SA高性能大型干燥机大尺寸 / 大批量工件、晶圆干燥高刚性高精度结构，重载适配，气流优化均匀干燥，安全联锁 + 自动门

典型应用场景

半导体：晶圆、光刻掩膜、陶瓷基板干燥

电子制造：SMT 载板、连接器、传感器、光学玻璃脱水

精密器件：医疗器件、精密陶瓷 / 玻璃 / 石英零件表面干燥

选型快速建议

需清洗 + 干燥一体化、多工艺配方：选OKH-MR（6 英寸载体适配，尺寸 W950×D1340×H1200mm）

纯甩干、追求高性价比：选FAB-HSZ系列（含 FAB-HSZ14SP、FAB-HSZ50SP 等）

大尺寸 / 大批量、重载需求：选OKH-800SA，高刚性适配大型工件

OKV-600 系列（标准真空甩干）

代表型号：OKV-600、OKV-600S

定位：6 英寸晶圆 / 小型精密零件真空干燥

核心特点

真空环境+ 离心旋转，无氧防氧化、低温快速脱水

标配离子发生器 + ULPA 过滤，洁净度达100 级

变频调速（10–600 rpm）、多段程序、定时控制

全密封 SUS316L 腔体，电解研磨，低发尘、耐腐蚀

适用：6 英寸晶圆、陶瓷基板、光学镜片、医疗器件

2. OKV-800 系列（大型 / 重载真空干燥）

代表型号：OKV-800、OKV-800SA

定位：8/12 英寸晶圆、大尺寸 / 大批量工件真空干燥

核心特点

高刚性腔体、高精度动平衡，重载低振动

真空 + 热气流双模式，干燥更均匀、效率更高

自动门、安全联锁、真空泄漏检测

支持N₂惰性气体置换，强化防氧化

适用：12 英寸晶圆、大型基板、批量精密组件

3. OKV-MR 系列（真空 + 清洗一体）

代表型号：OKV-MR

定位：真空环境下清洗 + 干燥一体化

核心特点

真空腔内同步完成微粒化清洗 + 真空离心干燥

全程无氧，杜绝氧化与二次污染

10 组工艺配方，适配多材质工件

适用：高价值、易氧化精密零件一站式处理