TOFCO东富科流量计，不管是气体还是液体，都有对应的测量方案，主要分这么几类：气体测量系列：包括面积式流量计、分流式流量计、质量流量控制器等，适合洁净气体如氮气、氧气的测量 。液体测量系列：有超声波流量计、电磁式流量计、叶轮式流量计等，能应对纯水、药液等不同介质 。除了流量计，还提供流量控制阀、压力开关、过滤器、数显表等周边零部件，方便配套使用。TOFCO东富科气体用质量流量控制器THP

TOFCO东富科流量计，不管是气体还是液体，都有对应的测量方案，主要分这么几类：气体测量系列：包括面积式流量计、分流式流量计、质量流量控制器等，适合洁净气体如氮气、氧气的测量 。液体测量系列：有超声波流量计、电磁式流量计、叶轮式流量计等，能应对纯水、药液等不同介质 。除了流量计，还提供流量控制阀、压力开关、过滤器、数显表等周边零部件，方便配套使用。

TOFCO东富科气体用质量流量控制器THP、TOFCO东富科气体用质量流量控制器THP

日本 TOFCO 东富科 THP 气体质量流量控制器（MFC）

THP 是 TOFCO 的热式质量流量控制器，专为洁净气体高精度闭环控制设计，直接测质量流量、不受温压影响、带 PID 自动控制，覆盖微小～中大流量，广泛用于半导体、光伏、特种气体、化工制程。

一、系列构成（两大主力）

THP‑CD/CDH（控制型，MFC）：带电磁阀 + PID 控制，可设定并稳定流量；微小～中流量（5smlm～50slm）。

THP‑MD（测量型，MFM）：仅测量、无控制阀门；中～大流量（30slm～5000slm）。

二、测量原理

采用MEMS 恒温差热式传感：

传感器内置加热元件与温度传感；

气体流动带走热量，维持恒温差所需加热功率与质量流量成正比；

直接输出质量流量（SLPM/smlm），无需温压补偿，抗压力波动。

三、核心特点（对比浮子 / 分流式）

高精度 + 高稳定

控制精度：±1.0% 读数（10–100% FS）；±0.1%FS（2–10%FS）

重复性：±0.15%FS；线性：±0.2%FS

零点稳定：<±0.5% FS / 月

快速响应

响应时间：≤1 秒（CDH）；≤2 秒（MD）

全量程可控

控制范围：2–100%FS，低流量亦稳定

高洁净 + 耐腐蚀

接液：SUS316L；密封：FKM（标准）/Kalrez（可选）

通讯 + 模拟双输出

标配：4–20mA/0–5V；可选：RS‑485 Modbus

四、关键技术参数（以 N₂/20℃/1atm 为例）

1. 流量范围（标准型号）

表格

型号最大流量（N₂）类型

THP‑CDH0015–1500 smlm（0.005–1.5 SLM）控制型

THP‑CDH0301.5–30 SLM控制型

THP‑CDH05030–50 SLM控制型

THP‑MD100100 SLM测量型

THP‑MD50005000 SLM测量型

2. 工况与电气

工作压力：0.5–3 bar（常用）；最高4.5 bar（CDH）/25 bar（MD）

温度：5–80℃（精度保证 15–50℃）

电源：+15～24VDC，0.5A

接口：1/8"/1/4"/3/8" LOK/VCR（高洁净）

五、型号命名（示例：THP‑CDH030‑C‑6E15‑L02‑FKM）

THP‑CDH：系列（CDH = 高精度控制型）

030：最大流量 30 SLM

C：控制型（带阀）

6E15：接口 1/4" VCR

L02：低压力版本

FKM：密封材质

六、选型要点（与 FM‑PZ/BY‑OM 对比）

精度需求：实验室 / 半导体 / 精密配比→选THP；一般监测→FM‑PZ/BY‑OM。

流量大小：

微流量（<1SLM）：THP‑CDH001

小流量（1–50SLM）：THP‑CDH030/050

中流量（50–500SLM）：THP‑MD 或 BY‑OM

大流量（>500SLM）：BY‑OM（成本优） 或 THP‑MD（精度优）

是否控制：需自动闭环→THP‑CDH；仅显示→THP‑MD/BY‑OM/FM‑PZ。

气体类型：N₂/Ar/O₂/H₂/He/ 特种气体→THP（可定制气体标定） 

七、典型应用

半导体：CVD / 刻蚀 / 扩散工艺气体精密配比（N₂/O₂/Ar/H₂）

光伏：扩散炉、PECVD大流量 N₂监控与控制

特种气体：氢气、氦气、甲烷等高纯气体输送

化工：反应釜、燃烧器精确燃气 / 空气配比