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产品型号：LD-450
更新时间：2026-06-10
厂商性质：代理商
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产品分类
半导体制造锆石氧分析仪 CHINA TORAY东丽，半导体制造锆石氧分析仪 CHINA TORAY东丽
在半导体制造过程中，氧气的混入会大大影响产品和生产物的质量。因此，无论前道工艺还是后道工艺，都需要在设备内部气氛气体中监测氧气浓度。
TORAY东丽氧气浓度计，特别是能够在真空环境中测量的传感器分离型产品，具有高功能性和节省空间的特点，能够在超高速响应和多点测量中使用，并且在大型设备制造商中被广泛采用。
CVD装置 PVD装置 扩散炉 搬送装置 水晶装置制造设备 喷射装置 半导体制造工程各种烧结炉 回流炉 退火装置 成型装置 电容器烧结炉 窒息发生装置
TORAY东丽锆英石式氧浓度计LD-450/SD传感器
高性能氧浓度计LD-450/SD传感器是利用我司多年积累的电子行业氧浓度计制造技术，开发出适用于真空装置等各种装置的产品。
本产品搭载了我司独自的长期稳定且高精度的小型氧化锆传感器，并且配备了氧传感器保护机构，实现了超越传统产品的耐久性。此外，将氧传感器和转换部件分离，并将转换部件设计为薄型壁挂式结构，使得其可以安装在更佳的测量位置。操作简单，是各种处理装置的最佳氧浓度计。
| 形状 | 分离型（变频器：壁挂式、传感器：直插式） |
|---|---|
| 表示方式 | LED数字管4位（操作/设置内容显示） |
| 表示范围 | 0.001ppm～100体积百分比O2 10-20～10-0大气压 |
| 测量范围 | 0-1／10／100／1000ppm／1／10／100% 10-20～10-0atm 自动／固定范围 ※0～1ppm 范围以下不保证 |
| 传感器连接 | ISO真空法兰 NW16、25、40 或者R3/8螺纹 的任何一个 |
| 连接 | 变电器～传感器间通过专用线连接 标准长度2米，最大10米 |
| 比较气体 | 大气 |
| 质量 | 变换器：约1.2kg 传感器：约0.2kg |
| 涂装色 | LD-450：哑光白 传感器：SUS（不锈钢） |
| 外形寸法 | 185（W）×155（H）×40（D） （单位：mm、突起部不含） |
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