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产品中心
产品型号：LC-750L/LC-450A
更新时间：2026-06-10
厂商性质：代理商
访问量：23
服务热线13122891488
产品分类
原装代理TORAY东丽在线液体浓度监测计，原装代理TORAY东丽在线液体浓度监测计
在半导体制造过程中，氧气的混入会大大影响产品和生产物的质量。因此，无论前道工艺还是后道工艺，都需要在设备内部气氛气体中监测氧气浓度。
TORAY东丽氧气浓度计，特别是能够在真空环境中测量的传感器分离型产品，具有高功能性和节省空间的特点，能够在超高速响应和多点测量中使用，并且在大型设备制造商中被广泛采用。
CVD装置 PVD装置 扩散炉 搬送装置 水晶装置制造设备 喷射装置 半导体制造工程各种烧结炉 回流炉 退火装置 成型装置 电容器烧结炉 窒息发生装置
TORAY东丽锆英石式氧浓度计LD-450/SD传感器
TORAY东丽锆石氧分析仪LC-750L系列（低浓度用）可用于在线液体浓度监测，采用
该产品将于2027年3月停止生产和销售。
替代品的详细信息请查看「LC-450A」「RF-400-01」
高性能氧浓度计LD-450/SD传感器是利用我司多年积累的电子行业氧浓度计制造技术，开发出适用于真空装置等各种装置的产品。
本产品搭载了我司独自的长期稳定且高精度的小型氧化锆传感器，并且配备了氧传感器保护机构，实现了超越传统产品的耐久性。此外，将氧传感器和转换部件分离，并将转换部件设计为薄型壁挂式结构，使得其可以安装在更佳的测量位置。操作简单，是各种处理装置的最佳氧浓度计。
| 形状 | 桌上型/面板安装型 |
|---|---|
| 表示方式 | 数字4位显示（浓度显示） |
| 测定范围 | 0.1ppm～100vol%O2 |
| 测量范围 | 表示：自动量程或4量程构成 记录仪：0-10／100／1000ppm／100％ 可以任意组合以下量程。 1／10／100／1000／10000ppm 1／10／100％、10-20～10-0atm ※0～1ppm量程、atm量程为参考值（不保证） |
| 抽样方式 | 内置泵连续吸引式 |
| 供給ガス量 | 1,000～2,000毫升/分钟 |
| 传感器部分气体量 | 60±10毫升/分钟 |
| 燃气接口 | INLET（试料气体入口） Rc1/4 BYPASSOUT（旁路出口） Rc1/4 OUTLET（试料气体出口） Rc1/4 |
| 比较气体 | 大气 |
| 形状 | 210（W）×134（H）×300（D） （单位：mm、不包括突起部分） |
| 质量 | 约6公斤 |
| 涂装色 | 哑光漆（黑色） |
| 返复性 | ±1%FS：0～10ppm 量程以上 (0～1ppm 量程以下不保证) |
|---|---|
| 空气点稳定性 | ±1％FS／24小时以内 |
| 燃气响应性 | 30秒以内（90％响应） |
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