日本PILLAR皮拉PRS系列新型低脉动风囊泵：高纯流体输送精准解决方案

在半导体、光电显示、精细化工、生物医药等制造领域，流体输送的低脉动、高洁净、耐腐蚀、高精度是保障产品良率的核心关键。传统输送泵普遍存在流量脉动大、介质污染、耐腐蚀性差、输送精度不足等痛点，极易造成药液喷涂不均、薄膜镀膜瑕疵、精密管路磨损等生产问题。针对工业流体输送刚需，日本PILLAR皮拉重磅推出PRS系列新型低脉动风囊泵（波纹管泵），以升级结构设计、高纯材质工艺、优异的低脉动性能，打造适配高精度洁净流体输送的优质设备。一、核心主力型号全覆盖，适配多场景工况日本PILLAR皮...

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晶圆湿法清洗流体管路方案｜PILLAR 高纯 PFA 接头应用场景

在半导体晶圆制造工序里，湿法清洗是重复频次很高的关键步骤。晶圆在光刻、刻蚀、沉积等工艺之后，表面会附着微小颗粒、有机污染物、金属杂质，需要依靠各类高纯化学药液冲洗、浸泡，保证晶圆洁净度。而输送这些高纯药液的流体管路系统，直接影响清洗效果与晶圆良率，管路配件的选材就变得尤为重要。湿法清洗设备会用到多种强腐蚀性化学品，包括、硫酸、双氧水、氨水等。普通塑料接头容易被药液侵蚀，析出离子，带来二次污染；如果接头密封性能不足，还会出现漏液风险，影响产线连续运行。PILLAR高纯PFA接头...

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超低脉动+高纯洁净--日本PILLAR皮拉SPELATM300 PS系列中温半导体风囊泵

在半导体晶圆制造、湿法清洗、药液供给等核心工艺中，流体输送的洁净度、流量稳定性、温度适配性直接决定制程良率与产品精度。酸碱腐蚀药液、高纯试剂的输送过程中，金属离子析出、流量脉动波动、中温工况适配不足等问题，始终是制约半导体精密制程升级的关键痛点。日本PILLAR皮拉深耕高纯流体输送领域，推出的SPELATM300PS系列中温风囊泵，凭借一体化蓄压结构、全氟洁净材质、宽温域稳定运行能力，精准适配半导体中温药液输送场景，成为半导体流体管路的核心配套设备。日本PILLAR皮拉SPE...

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PILLAR PW系列 药液补充用定量泵产品介绍

PILLAR（日本皮拉）PW系列为专用药液补充定量泵，属于高精度波纹管式计量泵，专为半导体、精密化工等行业的化学品定量补给、药液加注场景研发。设备依托纯氟树脂接液结构与稳定气动驱动设计，实现高精度、高洁净、耐腐蚀的定量吐液作业，是精密制程中药液精准补充的核心配套设备。一、核心产品特点超高耐蚀洁净材质：所有接液部件均采用PFA、PTFE含氟聚合物材质，无金属接触药液，可耐受各类酸碱、有机溶剂、蚀刻液、清洗液等特殊化工药液，同时材质本身不析出、不污染药液，满足高洁净制程要求。高精...

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日本PILLAR皮拉 螺纹直通接头 PFA 氟塑料入珠接头 半导体液晶湿制程

产品概述日本PILLAR（皮拉）MCT穿板外螺纹直通接头，属于SUPER300-P系列高纯PFA入珠式氟塑料接头，是半导体、液晶面板、光伏湿制程设备槽体穿板配管专用款。针对腔体、清洗槽、反应槽穿墙出液、进料、喷淋、取样工况设计，区别于普通P-MC外螺纹接头，采用全通贯通流道结构，无内部止位台阶，支持PFA/PTFE软管自由穿管伸入槽内，是湿工艺管路标准化、防返工的核心选型配件。产品全程高纯PFA/PTFE材质，无金属污染、耐强酸强碱、耐高温耐腐蚀，适配超纯水、双氧水、蚀刻液、...

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