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yamada日本山田光学卤素光源装置灯管
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yamada日本山田光学卤素光源装置灯管
日本山田光学YP-150I高亮度卤素光源装置‌ 所使用的灯管是其核心发光部件,直接影响照明性能与检测精度。该设备采用 ‌JCR15V150W(牛尾)型卤素灯泡‌,具备高色温(约3,400K)和高照度输出能力,可在样品表面提供‌超过400,000 Lux‌的光照强度,确保细微划痕、异物、抛光不均等缺陷清晰可见。

产品型号:YP-150I

更新时间:2026-03-28

厂商性质:代理商

访问量:10

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产品介绍

yamada日本山田光学卤素光源装置灯管

日本山田光学YP-150I高亮度卤素光源装置‌ 所使用的灯管是其核心发光部件,直接影响照明性能与检测精度。该设备采用 ‌JCR15V150W(牛尾)型卤素灯泡‌,具备高色温(约3,400K)和高照度输出能力,可在样品表面提供‌超过400,000 Lux‌的光照强度,确保细微划痕、异物、抛光不均等缺陷清晰可见。

高亮度卤素光源设备YP-150I‌ 是由日本山田光学(YAMADA)研发的工业级照明装置,专用于半导体、液晶面板和精密电子元件制造中的表面缺陷检测。它通过提供‌超过400,000 Lux‌的超高照度和高均匀性光线,帮助操作人员肉眼识别微米级划痕、异物、抛光不均、雾度及晶格滑移等细微瑕疵,显著提升质检效率与良率控制水平 。

该设备采用‌卤素灯‌作为光源,配合冷镜反射技术,能将热辐射影响降至传统铝镜的约1/3,有效保护热敏感材料 。其标准照射范围为直径‌φ30mm‌,适用于6英寸半导体晶圆的检测,是生产线和实验室中的宏观观察工具 。

YP-150I具备‌高/低两档照度一键切换功能‌,无需调整距离即可适应不同缺陷类型的观察需求:高照度用于发现极细微缺陷,低照度则有助于清晰呈现特定划痕或雾状问题 。尽管卤素灯属于消耗品(寿命约50小时),但更换简便,维护成本可控,适合长时间连续作业 。

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高亮度卤素光源设备

高亮度卤素光源设备是一种用于宏观观测的照明设备,用于检测各种缺陷,如异物、划痕、抛光不均匀、雾霾和最终表面的滑动,这些在半导体晶圆和液晶基板的加工过程中需要最多的人工。

概述

1. 样品表面可被照亮超过400,000Lx。

2. 光源为卤素灯,色温较高,光线不那么不均匀

,光线非常稳定且锐利。

3. 使用冷镜可将热效应降至传统铝制镜面的三分

之一。

4. 两级切换机制允许你一键切换

高光和低光观测。

YP-150I:照度范围φ30

YP-250I:照度范围φ60

(YP-250I可选择螺旋桨风扇型和风管风扇型。 )

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高亮度卤素光源设备YP-150I‌ 的核心特点在于其‌超高照度、高均匀性照明与工业级稳定性‌,专为半导体、液晶及电子行业的精密表面缺陷检测而设计。

主要特点如下:

‌超高照度,精准识别微小缺陷‌

YP-150I可在样品表面提供‌超过400,000 Lux‌的照度(照射面积φ30mm),远超普通LED光源,能够清晰呈现0.2μm级的划痕、异物、CMP残留等细微瑕疵,甚至可替代部分精密探测仪进行初步筛查 。

‌高色温与低照明不均,成像锐利稳定‌

采用卤素灯作为光源,色温高达约‌3,400K‌,光线稳定且锐利,照度分布均匀,有效减少视觉误判,确保不同操作人员在不同班次间保持一致的检测标准 。

‌冷镜技术,大幅降低热影响‌

配备冷反射镜系统,能将热辐射降至传统铝镜的‌约1/3‌,避免对热敏感材料(如硅晶圆、玻璃基板)造成损伤,保障样品完整性 。

‌双档照度一键切换,操作灵活高效‌

支持‌高/低两档照度‌自由切换,无需调整设备距离。高照度用于发现极细微缺陷,低照度则有助于观察特定类型的雾度或划痕,提升检测适应性 。

‌专为6英寸晶圆检测优化,适用性强‌

标准照射范围为‌φ30mm‌,特别适用于6英寸半导体晶片、砷化镓、碳化硅等材料的表面检查,广泛应用于晶圆制造、光刻后检测、清洗工序及研发实验室 。

‌结构紧凑,维护简便‌

设备重量仅约‌1.85kg‌,外形尺寸小巧(100×350±10×116mm),便于在产线多工位移动使用。卤素灯为标准耗材,更换简单,虽寿命约为‌50小时‌,但成本可控,适合工业连续作业 。

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