TOFCO东富科流量计，不管是气体还是液体，都有对应的测量方案，主要分这么几类：气体测量系列：包括面积式流量计、分流式流量计、质量流量控制器等，适合洁净气体如氮气、氧气的测量 。液体测量系列：有超声波流量计、电磁式流量计、叶轮式流量计等，能应对纯水、药液等不同介质 。除了流量计，还提供流量控制阀、压力开关、过滤器、数显表等周边零部件，方便配套使用。日本TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计

TOFCO东富科流量计，不管是气体还是液体，都有对应的测量方案，主要分这么几类：气体测量系列：包括面积式流量计、分流式流量计、质量流量控制器等，适合洁净气体如氮气、氧气的测量 。液体测量系列：有超声波流量计、电磁式流量计、叶轮式流量计等，能应对纯水、药液等不同介质 。除了流量计，还提供流量控制阀、压力开关、过滤器、数显表等周边零部件，方便配套使用。

日本TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计、日本TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计

药液纯水用超声波流量计

用于测量半导体清洗工序中使用的超纯水、高纯度药品的流量。主体采用了耐强酸、强碱PFA树脂

日本 TOFCO 东富科 USF500S 药液・纯水用超声波流量计

USF500S是 TOFCO 专为超纯水、高纯化学品、腐蚀性药液开发的小口径、无接触、高精度超声波流量计，全 PFA 接液、无活动部件、耐强酸强碱，主打半导体 / 光伏清洗制程的微小流量精密测量

一、测量原理

采用超声波传播时间差法：

管外（或集成式）安装一对超声波换能器，沿管道轴向收发信号；

顺流 / 逆流传播时间差与流速成正比，换算为体积流量；

管内无阻挡、无压力损失、无活动部件，适配高纯 / 腐蚀性液体。

二、核心特点（对比 FM‑PZ/DPF）

全 PFA 高洁净耐腐蚀

接液材质：PFA 树脂（耐 HCl、HF、H₂O₂、IPA、臭氧水等）

无金属接触，超纯水 / 半导体级洁净，无离子析出

微小流量高精度

精度：±1% 读数（10–100% FS）；±0.1%FS（<10%FS）

分辨率：0.001 L/min（标准）

DSP 抗气泡 + 高稳定

数字信号处理（DSP），耐气泡、抗干扰、响应快（10ms）

流量波动适应性强，清洗 / 药液输送稳定

无压损 + 易安装

直通流路、几乎无压力损失，适合低压 / 循环回路

分体式传感器 + 可拆卸线缆，布线维护便捷

宽温 + 多通讯

标准：−10～+80℃；高温型可达200℃

标配4–20mA/0–5V；可选RS‑485 Modbus

（药液 / 纯水场景）

介质兼容性：强酸（HCl/HF）、强碱、有机溶剂、超纯水→ USF500S（全 PFA）；一般清水可选 DPF/FM‑PZ。

流量范围：微小流量（<5L/min）→G08；中微流量（5–30L/min）→G10/G15。

洁净等级：半导体 / 光伏超纯水 / 高纯药液→USF500S（无金属、无析出）。

气泡工况：清洗机、喷淋、循环管路含气泡→USF500S（DSP 抗气泡）。