TOFCO东富科流量计，不管是气体还是液体，都有对应的测量方案，主要分这么几类：气体测量系列：包括面积式流量计、分流式流量计、质量流量控制器等，适合洁净气体如氮气、氧气的测量 。液体测量系列：有超声波流量计、电磁式流量计、叶轮式流量计等，能应对纯水、药液等不同介质 。除了流量计，还提供流量控制阀、压力开关、过滤器、数显表等周边零部件，方便配套使用。日本TOFCO东富科SSF药液纯水用涡街式流量计

TOFCO东富科流量计，不管是气体还是液体，都有对应的测量方案，主要分这么几类：气体测量系列：包括面积式流量计、分流式流量计、质量流量控制器等，适合洁净气体如氮气、氧气的测量 。液体测量系列：有超声波流量计、电磁式流量计、叶轮式流量计等，能应对纯水、药液等不同介质 。除了流量计，还提供流量控制阀、压力开关、过滤器、数显表等周边零部件，方便配套使用。

日本TOFCO东富科SSF药液纯水用涡街式流量计、日本TOFCO东富科SSF药液纯水用涡街式流量计

日本 TOFCO 东富科 SSF 药液・纯水用涡街式流量计

SSF是 TOFCO 面向高纯药液 / 超纯水的小口径、全 PFA、卡门涡街式流量计，用超声波检测涡街，无金属、无活动部件、免维护、价格适中，主打半导体清洗、化学品输送的中小流量精密测量

一、测量原理

基于卡门涡街效应：

管内设置PFA 涡街发生体，流体流过时产生规则旋涡列；

上下游超声波探头检测旋涡频率，频率与流速 / 体积流量成正比；

无接触、无阻挡、无机械部件，高洁净 + 耐腐 + 稳定。

二、核心特点（对比 USF500S/FM‑PZ）

全 PFA 高洁净耐腐蚀

接液部：PFA（无金属、无 O 形圈），耐 HCl、HF、H₂O₂、强碱、有机溶剂。

适配半导体级超纯水、高纯蚀刻液 / 清洗液，无离子析出。

超声波检测，无驱动更可靠

涡街用超声波检测，接液部无机械驱动 / 活动部件，无磨损、无泄漏风险。

相比超声流量计（USF）：抗气泡更强、稳定性更好、价格更低。

中小流量宽量程，低压力损失

口径10～25mm（3/8"～1"），流量0.5～130L/min。

量程比1:10，压损远低于面积式（FM‑PZ），适合循环 / 低压回路。

数显 + 多输出，易集成

标配LCD 瞬时 / 累计流量显示。

可选4–20mA、脉冲输出、RS‑485 Modbus，适配 PLC/DCS。

小巧易安装，免维护

一体紧凑型，水平 / 垂直均可装，入口≥7D、出口≥5D 直管段无可动部件，长期免维护，寿命长。